6inch 150mm Silicon Carbide SiC Kaki aina ya 4H-N kwa MOS au Utafiti wa Uzalishaji wa SBD na daraja la Dummy
Sehemu za Maombi
Sehemu ndogo ya kioo ya silicon carbide ya inchi 6 ina jukumu muhimu katika tasnia nyingi. Kwanza, inatumika sana katika tasnia ya semiconductor kwa utengenezaji wa vifaa vya elektroniki vya nguvu ya juu kama vile transistors za nguvu, saketi zilizojumuishwa, na moduli za nguvu. Conductivity yake ya juu ya joto na upinzani wa juu-joto huwezesha uharibifu bora wa joto, na kusababisha kuboresha ufanisi na kuegemea. Pili, kaki za kaboni za silicon ni muhimu katika nyanja za utafiti kwa utengenezaji wa vifaa na vifaa vipya. Zaidi ya hayo, kaki ya kaboni ya silicon hupata matumizi makubwa katika uwanja wa optoelectronics, ikiwa ni pamoja na utengenezaji wa LEDs na diodi za leza.
Vipimo vya Bidhaa
Sehemu ndogo ya fuwele ya silicon ya inchi 6 ina kipenyo cha inchi 6 (takriban 152.4 mm). Ukali wa uso ni Ra <0.5 nm, na unene ni 600 ± 25 μm. Sehemu ndogo inaweza kubinafsishwa kwa upitishaji wa aina ya N au P, kulingana na mahitaji ya mteja. Zaidi ya hayo, inaonyesha utulivu wa kipekee wa mitambo, yenye uwezo wa kuhimili shinikizo na vibration.
Kipenyo | 150±2.0mm (inchi 6) | ||||
Unene | 350 μm±25μm | ||||
Mwelekeo | Kwenye mhimili : <0001>±0.5° | Nje ya mhimili:4.0° kuelekea 1120±0.5° | |||
Aina nyingi | 4H | ||||
Ustahimilivu(Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Mwelekeo wa msingi wa gorofa | {10-10}±5.0° | ||||
Urefu wa msingi wa gorofa (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
Ukingo | Chamfer | ||||
TTV/Upinde / Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Front (Si-face) | Kipolandi Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Maganda ya chungwa/mashimo/nyufa/uchafuzi/madoa/mipasuko | Hakuna | Hakuna | Hakuna | ||
indents | Hakuna | Hakuna | Hakuna |
Sehemu ndogo ya kioo ya silicon carbide ya inchi 6 ni nyenzo ya utendaji wa juu inayotumika sana katika tasnia ya semiconductor, utafiti, andoptoelectronics. Inatoa upitishaji bora wa mafuta, uthabiti wa mitambo, na upinzani wa halijoto ya juu, na kuifanya inafaa kwa utengenezaji wa vifaa vya elektroniki vya nguvu ya juu na utafiti mpya wa nyenzo. Tunatoa vipimo mbalimbali na chaguzi za ubinafsishaji ili kukidhi mahitaji mbalimbali ya wateja.Wasiliana nasi kwa maelezo zaidi juu ya kaki za silicon carbide!