Kaki za inchi 4 za SiC 6H Sehemu ndogo za SiC za Kuhami Semi-msingi, utafiti na daraja la dummy

Kaki za inchi 4 za SiC 6H Vidogo Vidogo vya SiC vya Kuhami Nusu, utafiti na daraja la dummy Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Fupi:

Nusu-maboksi silicon CARBIDE Substrate huundwa kwa kukata, kusaga, polishing, kusafisha na teknolojia nyingine usindikaji baada ya ukuaji wa kioo nusu-maboksi silicon CARBIDE.Safu ya safu au safu nyingi za fuwele hukuzwa kwenye substrate ambayo inakidhi mahitaji ya ubora kama epitaksi, na kisha kifaa cha microwave RF kinatengenezwa kwa kuchanganya muundo wa saketi na ufungashaji.Inapatikana kama 2inch 3inch 4incgh 6inch inchi 8 viwandani, utafiti na majaribio ya daraja la nusu-maboksi ya silicon carbide single kioo substrates.

Tutumie barua pepe

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Uainishaji wa Bidhaa

Daraja			Daraja la Sifuri la Uzalishaji wa MPD (Daraja la Z)			Daraja la Uzalishaji wa Kawaida(Daraja la P)		Daraja la Dummy (Daraja la D)
Kipenyo			99.5 mm ~ 100.0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Mwelekeo wa Kaki			Nje ya mhimili : 4.0° kuelekea< 1120 > ±0.5° kwa 4H-N, Kwenye mhimili : <0001>±0.5° kwa 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Mwelekeo wa Msingi wa Gorofa		{10-10} ±5.0°
Urefu wa Msingi wa Gorofa		32.5 mm±2.0 mm
Urefu wa Gorofa wa Sekondari		18.0 mm±2.0 mm
Mwelekeo wa Gorofa wa Sekondari		Silicone uso juu: 90° CW.kutoka gorofa kuu ± 5.0 °
Kutengwa kwa Kingo		3 mm
LTV/TTV/Bow /Warp		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Ukali			C uso				Kipolandi		Ra≤1 nm
			Si uso	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Nyufa za Ukali kwa Mwangaza wa Juu		Hakuna						Urefu wa jumla ≤ 10 mm, moja urefu≤2 mm
Sahani za Hex Kwa Mwangaza wa Juu		Eneo la jumla ≤0.05%						Eneo la jumla ≤0.1%
Maeneo ya Polytype Kwa Mwangaza wa Juu		Hakuna						Jumla ya eneo≤3%
Visual Carbon Inclusions		Eneo la jumla ≤0.05%						Jumla ya eneo ≤3%
Mikwaruzo ya Uso wa Silicon Kwa Mwangaza wa Nguvu ya Juu		Hakuna						Urefu uliolimbikizwa≤1＊kipenyo cha kaki
Chips za Ukali Juu Kwa Mwangaza Mkali		Hairuhusiwi ≥0.2 mm upana na kina						5 inaruhusiwa, ≤1 mm kila moja
Uchafuzi wa Uso wa Silicon Kwa Nguvu ya Juu		Hakuna
Ufungaji		Kaseti ya kaki nyingi au Chombo Kimoja cha Kaki