Kauri ya Kauri ya Silikoni kwa ajili ya SiC yakuti ya Silikoni GAAs Wafer

Kauri ya Kauri ya Silikoni ya Silikoni kwa ajili ya SiC yakuti ya Silikoni ya GAA Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

Silicon Carbide Ceramic Chuck ni jukwaa la utendaji wa hali ya juu lililoundwa kwa ajili ya ukaguzi wa nusu-semiconductor, utengenezaji wa wafer, na matumizi ya kuunganisha. Imejengwa kwa vifaa vya kauri vya hali ya juu—ikiwa ni pamoja na SiC iliyochomwa (SSiC), SiC iliyounganishwa na mmenyuko (RSiC), nitridi ya silicon, na nitridi ya alumini—inatoa ugumu wa hali ya juu, upanuzi mdogo wa joto, upinzani bora wa uchakavu, na maisha marefu ya huduma.

Tutumie barua pepe

Vipengele

Mchoro wa Kina

Muhtasari wa Kauri ya Kauri ya Silicon Carbide (SiC)

YaKauri ya Kauri ya Silikonini jukwaa lenye utendaji wa hali ya juu lililoundwa kwa ajili ya ukaguzi wa nusu-semiconductor, utengenezaji wa wafer, na matumizi ya kuunganisha. Limejengwa kwa vifaa vya kauri vya hali ya juu—ikiwa ni pamoja naSiC iliyochanganywa (SSiC), SiC iliyounganishwa na mmenyuko (RSiC), nitridi ya silikoninanitridi ya alumini—inatoaugumu wa juu, upanuzi mdogo wa joto, upinzani bora wa uchakavu, na maisha marefu ya huduma.

Kwa uhandisi wa usahihi na ung'arishaji wa hali ya juu, chuck hutoaulalo mdogo wa micron, nyuso zenye ubora wa kioo, na uthabiti wa vipimo vya muda mrefu, na kuifanya kuwa suluhisho bora kwa michakato muhimu ya semiconductor.

Faida Muhimu

Usahihi wa Juu
Ulalo unaodhibitiwa ndani0.3–0.5 μm, kuhakikisha uthabiti wa wafer na usahihi thabiti wa mchakato.
Kung'arisha Vioo
MafanikioRa 0.02 μmUkali wa uso, kupunguza mikwaruzo na uchafuzi wa wafer—inafaa kwa mazingira safi sana.
Uzito wa Juu
Nguvu lakini nyepesi kuliko sehemu ndogo za quartz au metali, ikiboresha udhibiti wa mwendo, mwitikio, na usahihi wa uwekaji.
Ugumu wa Juu
Moduli ya kipekee ya Young huhakikisha uthabiti wa vipimo chini ya mizigo mizito na uendeshaji wa kasi kubwa.
Upanuzi wa Joto la Chini
CTE inalingana kwa karibu na wafer za silikoni, kupunguza msongo wa joto na kuongeza uaminifu wa mchakato.
Upinzani Bora wa Kuvaa
Ugumu mkubwa huhifadhi uthabiti na usahihi hata chini ya matumizi ya muda mrefu na ya masafa ya juu.

Mchakato wa Uzalishaji

Maandalizi ya Malighafi
Poda za SiC zenye usafi wa hali ya juu zenye ukubwa wa chembe unaodhibitiwa na uchafu mdogo sana.
Kuunda na Kuchuja
Mbinu kama vilesintering isiyo na shinikizo (SSiC) or Kiunganishi cha mmenyuko (RSiC)hutoa substrates za kauri zenye unene na zinazofanana.
Uchakataji wa Usahihi
Kusaga kwa CNC, kukata kwa leza, na uchakataji wa usahihi wa hali ya juu hufikia uvumilivu wa ±0.01 mm na usawa wa ≤3 μm.
Matibabu ya Uso
Kusaga na kung'arisha kwa hatua nyingi hadi Ra 0.02 μm; mipako ya hiari inapatikana kwa ajili ya upinzani wa kutu au sifa za msuguano zilizobinafsishwa.
Ukaguzi na Udhibiti wa Ubora
Vipima-kati na vipimo vya ukali huthibitisha kufuata vipimo vya daraja la nusu-semiconductor.

Vipimo vya Kiufundi

Kigezo	Thamani	Kitengo
Ulalo	≤0.5	μm
Ukubwa wa kaki	6'', 8'', 12'' (inapatikana maalum)	—
Aina ya uso	Aina ya pini / Aina ya pete	—
Urefu wa pini	0.05–0.2	mm
Kipenyo cha chini cha pini	ϕ0.2	mm
Nafasi ndogo zaidi ya pini	3	mm
Upana wa chini wa pete ya muhuri	0.7	mm
Ukali wa uso	Ra 0.02	μm
Uvumilivu wa unene	± 0.01	mm
Uvumilivu wa kipenyo	± 0.01	mm
Uvumilivu wa ulinganifu	≤3	μm

Maombi Kuu

Vifaa vya ukaguzi wa wafer ya nusu kondakta
Mifumo ya utengenezaji na uhamishaji wa kafe
Vifaa vya kuunganisha na kufungasha kaki
Utengenezaji wa vifaa vya kielektroniki vya hali ya juu
Vifaa vya usahihi vinavyohitaji nyuso tambarare sana na safi sana

Maswali na Majibu - Chuki ya Kauri ya Silicon Carbide

Q1: Vipuli vya kauri vya SiC vinalinganishwaje na vipande vya quartz au metali?
A1: Chucks za SiC ni nyepesi, ngumu zaidi, na zina CTE karibu na wafers za silikoni, hivyo kupunguza mabadiliko ya joto. Pia hutoa upinzani bora wa uchakavu na maisha marefu zaidi.

Swali la 2: Ni ulalo gani unaoweza kupatikana?
A2: Inadhibitiwa ndani0.3–0.5 μm, kukidhi mahitaji magumu ya uzalishaji wa nusu-semiconductor.

Swali la 3: Je, uso utakwaruza wafers?
A3: Hapana—imeng'arishwa kwa kiooRa 0.02 μm, kuhakikisha utunzaji usio na mikwaruzo na uzalishaji mdogo wa chembe.

Q4: Ni saizi gani za wafer zinazoungwa mkono?
A4: Ukubwa wa kawaida wa6'', 8'', na 12'', pamoja na ubinafsishaji unaopatikana.

Q5: Upinzani wa joto ukoje?
A5: Kauri za SiC hutoa utendaji bora wa halijoto ya juu na mabadiliko madogo chini ya mzunguko wa joto.

Kuhusu Sisi

XKH inataalamu katika maendeleo ya teknolojia ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum za macho na vifaa vipya vya fuwele. Bidhaa zetu hutoa vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu za mkononi, Kauri, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers za fuwele za semiconductor. Kwa utaalamu stadi na vifaa vya kisasa, tunafanikiwa katika usindikaji wa bidhaa usio wa kawaida, tukilenga kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya juu ya vifaa vya optoelectronic.