Jedwali la Yaliyomo
1. Muhtasari na Kazi za Msingi za FOUP
2. Vipengele vya Muundo na Usanifu wa FOUP
3. Miongozo ya Uainishaji na Utumiaji wa FOUP
4.Uendeshaji na Umuhimu wa FOUP katika Utengenezaji wa Semiconductor
5. Changamoto za Kiufundi na Mwenendo wa Maendeleo ya Baadaye
6.XKH's Customized Solutions and Service Support
Katika mchakato wa utengenezaji wa semicondukta, Ufunguzi wa Mbele Uliounganishwa wa Podo (FOUP) ni chombo muhimu kinachotumika kulinda, kusafirisha, na kuhifadhi kaki. Mambo yake ya ndani yanaweza kubeba vipande 25 vya kaki 300mm, na vipengele vyake kuu ni pamoja na chombo cha kufungua mbele na sura ya mlango wa kujitolea kwa kufungua na kufunga. FOUP ni mtoa huduma mkuu katika mfumo wa usafiri wa kiotomatiki ndani ya vitambaa vya kaki vya inchi 12. Kwa kawaida husafirishwa katika hali iliyofungwa na hufunguka tu inaposukumwa hadi kwenye mlango wa kupakia kifaa, hivyo kuruhusu kaki kuhamishiwa kwenye mlango wa kupakia/upakuaji wa kifaa.
Muundo wa FOUP umebadilishwa kwa mahitaji ya mazingira madogo. Ina sehemu za nyuma za kuwekea kaki, na kifuniko kimeundwa mahususi ili kuendana na kibano cha kopo. Roboti zinazoshika kaki hufanya kazi katika mazingira ya hewa safi ya Daraja la 1, na kuhakikisha kwamba vifurushi havichafuki wakati wa kusambaza. Zaidi ya hayo, FOUP huhamishwa kati ya zana za mchakato kupitia mfumo wa kiotomatiki wa kushughulikia nyenzo (AMHS). Vitambaa vya kisasa vya kaki hutumia zaidi mifumo ya reli ya juu kwa usafiri, wakati vitambaa vichache vya zamani vinaweza kutumia magari yanayoongozwa na otomatiki ya ardhini (AGVs).
FOUP sio tu inawezesha uhamishaji wa kiotomatiki wa kaki lakini pia hutumikia kazi ya kuhifadhi. Kwa sababu ya hatua nyingi za utengenezaji, kaki inaweza kuchukua miezi kukamilisha mchakato mzima. Ikijumuishwa na viwango vya juu vya uzalishaji wa kila mwezi, hii inamaanisha kuwa makumi ya maelfu ya kaki ndani ya kitambaa huwa katika usafirishaji au uhifadhi wa muda wakati wowote. Wakati wa kuhifadhi, FOUPs husafishwa mara kwa mara na nitrojeni ili kuzuia uchafu kuwasiliana na kaki, kuhakikisha mchakato safi na wa kuaminika wa uzalishaji.
1. Kazi na Umuhimu wa FOUP
Kazi kuu ya FOUP ni kulinda kaki dhidi ya mshtuko na uchafuzi wa nje, haswa kuzuia athari kwenye mavuno wakati wa kuhamisha. Inazuia unyevu kupitia njia kama vile kusafisha gesi na Udhibiti wa Angahewa ya Ndani (LAC), kuhakikisha kaki zinasalia katika hali salama huku zikisubiri hatua inayofuata ya utengenezaji. Mfumo wake uliofungwa na kudhibitiwa huruhusu tu misombo muhimu na vipengele kuingia, kwa kiasi kikubwa kupunguza athari mbaya za VOCs, oksijeni, na unyevu kwenye wafers.
Kwa kuwa FOUP iliyopakiwa kikamilifu na kaki 25 inaweza kuwa na uzito wa hadi kilo 9, usafirishaji wake lazima utegemee Mfumo wa Kushughulikia Nyenzo Kiotomatiki (AMHS). Ili kuwezesha hili, FOUP imeundwa ikiwa na michanganyiko mbalimbali ya vibao vya kuunganisha, pini, na matundu, na imewekwa tagi za kielektroniki za RFID kwa ajili ya utambuzi na uainishaji kwa urahisi. Ushughulikiaji huu wa kiotomatiki hauhitaji karibu utendakazi wa mikono, unapunguza sana viwango vya makosa na kuimarisha usalama na usahihi wa mchakato wa utengenezaji.
2. Muundo na Uainishaji wa FOUP
Vipimo vya kawaida vya FOUP ni takriban 420 mm kwa upana, 335 mm kwa kina, na 335 mm kwa urefu. Vipengele vyake kuu vya kimuundo ni pamoja na: OHT ya juu (kichwa cha uyoga) kwa usafiri wa juu wa juu; Mlango wa mbele kwa ufikiaji wa vifaa vya kaki; Hushughulikia upande, mara nyingi zimewekwa rangi ili kutofautisha maeneo ya mchakato na viwango tofauti vya uchafuzi; eneo la Kadi la kuweka kadi za ujumbe; na tagi ya chini ya RFID ambayo hutumika kama kitambulisho cha kipekee cha FOUP, ikiruhusu zana na viinua vya juu kuitambua. Msingi pia una mashimo manne ya utambulisho na nafasi ya kulinganisha na zana na maeneo ya mchakato wa kutofautisha.
Kulingana na matumizi, FOUPs zimeainishwa katika aina tatu: PRD (kwa ajili ya uzalishaji), ENG (kwa kaki za uhandisi), na MON (kwa kaki za kufuatilia). PRD FOUPs zinaweza kutumika kutengeneza bidhaa, aina za ENG zinafaa kwa R&D au majaribio, na aina za MON zimejitolea kuchakata ufuatiliaji wa hatua kama vile CMP na DIFF. Ni muhimu kutambua kwamba PRD FOUPs zinaweza kutumika kwa madhumuni ya ENG na MON, na aina za ENG zinaweza kutumika kwa MON, lakini operesheni ya kinyume inaleta hatari za ubora.
Imeainishwa kwa kiwango cha uchafuzi, FOUPs zinaweza kugawanywa katika FE FOUP (mchakato wa mwisho, usio na chuma), BE FOUP (mchakato wa nyuma, una chuma), na wale maalumu kwa michakato maalum ya chuma kama vile NI FOUP, CU FOUP, na CO FOUP. FOUP za michakato tofauti kwa kawaida hutofautishwa na rangi ya vishikizo vya kando au paneli za milango. FOUPs kutoka kwa michakato ya mbele inaweza kutumika katika michakato ya nyuma, lakini FOUP za nyuma hazipaswi kamwe kutumika katika michakato ya mbele, kwani hii inaweza kusababisha hatari za uchafuzi.
Kama mtoa huduma muhimu katika utengenezaji wa semiconductor, FOUP, kupitia uotomatiki wa hali ya juu na udhibiti madhubuti wa uchafuzi, huhakikisha usalama na usafi wa kaki wakati wa mchakato wa uzalishaji, na kuifanya kuwa miundombinu muhimu katika vitambaa vya kisasa vya kaki.
Hitimisho
XKH imejitolea kuwapa wateja suluhu zilizoboreshwa sana za Front-Opening Unified Pod (FOUP), kwa kuzingatia kikamilifu mahitaji yako mahususi ya mchakato na vipimo vya kiolesura cha kifaa. Kwa kutumia teknolojia ya hali ya juu ya nyenzo na michakato ya utengenezaji wa usahihi, tunahakikisha kuwa kila bidhaa ya FOUP inapeana hali ya kipekee ya hewa isiyopitisha hewa, usafi na uthabiti wa kiufundi. Timu yetu ya kiufundi ina utaalam wa kina wa tasnia, inayotoa usaidizi wa kina wa mzunguko wa maisha—kutoka kwa mashauriano ya uteuzi na uboreshaji wa muundo hadi usafishaji na matengenezo—kuhakikisha ujumuishaji usio na mshono na ushirikiano mzuri kati ya FOUP na Mfumo wako wa Kushughulikia Nyenzo Otomatiki (AMHS) pamoja na vifaa vya kuchakata. Tunatanguliza kipaumbele usalama wa kaki na uboreshaji wa mavuno ya uzalishaji kama malengo yetu kuu. Kupitia bidhaa za kibunifu na huduma za kiufundi zinazojumuisha yote, tunatoa hakikisho thabiti kwa michakato yako ya utengenezaji wa semiconductor, hatimaye kuongeza ufanisi wa uzalishaji na mavuno ya bidhaa.
Muda wa kutuma: Sep-08-2025