Wafers za Quartz Zilizochanganywa kwa Usafi wa Juu kwa Semiconductor, Programu za Optical za Photonics 2″4″6″8″12″

Wafers za Quartz Zilizounganishwa kwa Usafi wa Juu kwa Semiconductor, Programu za Optical za Photonics 2″4″6″8″12″ Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

Quartz Iliyounganishwa—pia inajulikana kamaSilika Iliyounganishwa—ni aina isiyo ya fuwele (isiyo na umbo la fuwele) ya silicon dioxide (SiO₂). Tofauti na borosilicate au glasi zingine za viwandani, quartz iliyochanganywa haina viongeza au viongeza, ikitoa muundo safi wa kemikali wa SiO₂. Inajulikana kwa upitishaji wake wa kipekee wa macho kwenye wigo wa urujuanimno (UV) na infrared (IR), ikizidi vifaa vya kawaida vya glasi.

Tutumie barua pepe

Vipengele

Mchoro wa Kina

wafer_ya_quartz_iliyochanganywa_wafer_ya_silika_iliyochanganywa_ya_inchi_4_

Muhtasari wa Kioo cha Quartz

Vigae vya Quartz huunda uti wa mgongo wa vifaa vingi vya kisasa vinavyoendesha ulimwengu wa kidijitali wa leo. Kuanzia urambazaji kwenye simu yako mahiri hadi uti wa mgongo wa vituo vya msingi vya 5G, Quartz hutoa utulivu, usafi, na usahihi unaohitajika katika vifaa vya elektroniki vya utendaji wa juu na fotoniki. Iwe inasaidia saketi zinazonyumbulika, kuwezesha vitambuzi vya MEMS, au kuunda msingi wa kompyuta ya quantum, sifa za kipekee za Quartz huifanya iwe muhimu katika tasnia zote.

"Silika Iliyounganishwa" au "Quartz Iliyounganishwa" ambayo ni awamu isiyo na umbo la quartz (SiO2). Ikilinganishwa na glasi ya borosilicate, silika iliyounganishwa haina viongeza; kwa hivyo ipo katika umbo lake safi, SiO2. Silika iliyounganishwa ina upitishaji wa juu zaidi katika wigo wa infrared na ultraviolet ikilinganishwa na glasi ya kawaida. Silika iliyounganishwa huzalishwa kwa kuyeyusha na kuimarisha tena SiO2 safi kabisa. Kwa upande mwingine, silika iliyounganishwa sintetiki hutengenezwa kutokana na vitangulizi vya kemikali vyenye silicon nyingi kama vile SiCl4 ambavyo hubadilishwa gesi na kisha oksidishwa katika angahewa ya H2 + O2. Vumbi la SiO2 linaloundwa katika kesi hii huunganishwa na silika kwenye substrate. Vitalu vya silika vilivyounganishwa hukatwa vipande vipande na kisha vipande hivyo hung'arishwa hatimaye.

Vioo vya Silika na Quartz vya Optical vilivyounganishwa

Sifa Muhimu na Faida za Kafu ya Kioo ya Quartz

Usafi wa Juu Sana (≥99.99% SiO2)
Inafaa kwa michakato ya semiconductor na fotoniki safi sana ambapo uchafuzi wa nyenzo lazima upunguzwe.
Aina pana ya Uendeshaji wa Joto
Hudumisha uadilifu wa kimuundo kutoka halijoto ya cryogenic hadi zaidi ya 1100°C bila kupotoka au kuharibika.
Usambazaji Bora wa UV na IR
Hutoa uwazi bora wa macho kutoka kwa miale ya ultraviolet ya kina (DUV) kupitia miale ya infrared iliyo karibu (NIR), ikiunga mkono matumizi ya usahihi wa macho.
Mgawo wa Upanuzi wa Joto la Chini
Huongeza uthabiti wa vipimo chini ya mabadiliko ya halijoto, kupunguza msongo wa mawazo na kuboresha uaminifu wa mchakato.
Upinzani Bora wa Kemikali
Haina asidi, alkali, na miyeyusho mingi—na kuifanya iweze kufaa kwa mazingira yenye kemikali kali.
Unyumbufu wa Kumaliza Uso
Inapatikana ikiwa na finishi laini sana, zenye upande mmoja au pande mbili zilizong'arishwa, zinazoendana na mahitaji ya fotoniki na MEMS.

Mchakato wa Utengenezaji wa Kafu ya Kioo ya Quartz

Vigae vya quartz vilivyounganishwa huzalishwa kupitia mfululizo wa hatua zilizodhibitiwa na sahihi:

Uteuzi wa Malighafi
Uteuzi wa vyanzo vya quartz asilia vyenye usafi wa hali ya juu au SiO₂ bandia.
Kuyeyuka na Kuunganisha
Quartz huyeyuka kwa ~2000°C katika tanuru za umeme chini ya angahewa iliyodhibitiwa ili kuondoa viambato na viputo.
Uundaji wa Vitalu
Silika iliyoyeyushwa hupozwa na kuwa vipande vigumu au ingots.
Kukata Kaki
Misumeno ya almasi au waya maalum hutumika kukata ingots kuwa vipande vilivyo wazi vya wafer.
Kupiga na Kung'arisha
Nyuso zote mbili zimebanwa na kung'arishwa ili kukidhi vipimo halisi vya macho, unene, na ukali.
Usafi na Ukaguzi
Wafers husafishwa katika vyumba safi vya ISO Daraja la 100/1000 na hufanyiwa ukaguzi mkali kwa kasoro na ulinganifu wa vipimo.

Sifa za kaki ya glasi ya Quartz

vipimo	kitengo	4"	6"	8"	Inchi 10	Inchi 12
Kipenyo / ukubwa (au mraba)	mm	100	150	200	250	300
Uvumilivu (±)	mm	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
Unene	mm	0.10 au zaidi	0.30 au zaidi	0.40 au zaidi	0.50 au zaidi	0.50 au zaidi
Ghorofa ya msingi ya marejeleo	mm	32.5	57.5	Nusu-notch	Nusu-notch	Nusu-notch
LTV (5mm×5mm)	μm	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5
TTV	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Upinde	μm	±20	±30	±40	±40	±40
Mkunjo	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Kuzungusha Kingo	mm	Inatii viwango vya SEMI M1.2 / rejelea IEC62276
Aina ya Uso		Upande Mmoja Uliong'arishwa / Upande Mbili Uliong'arishwa
Upande uliosuguliwa Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Vigezo vya Upande wa Nyuma	μm	jumla 0.2-0.7 au umeboreshwa

Quartz dhidi ya Nyenzo Nyingine za Uwazi

Mali	Kioo cha Quartz	Kioo cha Borosilicate	Yakuti	Kioo cha Kawaida
Halijoto ya Juu Zaidi ya Uendeshaji	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Usambazaji wa UV	Bora (JGS1)	Maskini	Nzuri	Maskini sana
Upinzani wa Kemikali	Bora kabisa	Wastani	Bora kabisa	Maskini
Usafi	Juu sana	Chini hadi wastani	Juu	Chini
Upanuzi wa Joto	Chini sana	Wastani	Chini	Juu
Gharama	Wastani hadi juu	Chini	Juu	Chini sana

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara kuhusu Kafu ya Kioo ya Quartz

Q1: Kuna tofauti gani kati ya quartz iliyochanganywa na silika iliyochanganywa?
Ingawa zote mbili ni aina zisizo na umbo la SiO₂, kwartz iliyochanganywa kwa kawaida hutoka kwa vyanzo asilia vya kwartz, ilhali silika iliyochanganywa huzalishwa kisanisi. Kiutendaji, hutoa utendaji sawa, lakini silika iliyochanganywa inaweza kuwa na usafi na usawa wa juu kidogo.

Swali la 2: Je, wafers za quartz zilizochanganywa zinaweza kutumika katika mazingira yenye utupu mwingi?
Ndiyo. Kwa sababu ya sifa zao za kutoa gesi kidogo na upinzani mkubwa wa joto, wafers za quartz zilizounganishwa ni bora kwa mifumo ya utupu na matumizi ya anga.

Swali la 3: Je, wafer hizi zinafaa kwa matumizi ya leza ya kina cha UV?
Hakika. Quartz iliyochanganywa ina uwezo wa juu wa kupitisha hadi ~185 nm, na kuifanya iwe bora kwa optiki za DUV, barakoa za lithografia, na mifumo ya leza ya excimer.

Swali la 4: Je, unaunga mkono utengenezaji wa wafer maalum?
Ndiyo. Tunatoa ubinafsishaji kamili ikijumuisha kipenyo, unene, ubora wa uso, tambarare/nochi, na mpangilio wa leza, kulingana na mahitaji yako maalum ya programu.

Kuhusu Sisi

XKH inataalamu katika maendeleo ya teknolojia ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum za macho na vifaa vipya vya fuwele. Bidhaa zetu hutoa vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu za mkononi, Kauri, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers za fuwele za semiconductor. Kwa utaalamu stadi na vifaa vya kisasa, tunafanikiwa katika usindikaji wa bidhaa usio wa kawaida, tukilenga kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya juu ya vifaa vya optoelectronic.

Kaki ya Yakuti Tupu Isiyo na Usafi Mkubwa Sehemu Ndogo ya Yakuti Tupu ya Yakuti Tupu kwa Usindikaji 5