Kaki ya Yakuti ya Inchi 12 kwa ajili ya Utengenezaji wa Semiconductor ya Kiasi Kikubwa

Maelezo Mafupi:

Kaki ya yakuti ya inchi 12 imeundwa ili kukidhi mahitaji yanayoongezeka ya utengenezaji wa semiconductor ya eneo kubwa, yenye uwezo wa juu wa uzalishaji na optoelectronic. Kadri usanifu wa vifaa unavyoendelea kupanuka na mistari ya uzalishaji ikielekea kwenye miundo mikubwa ya kaki, vijiti vya yakuti vya kipenyo kikubwa sana hutoa faida dhahiri katika uzalishaji, uboreshaji wa mavuno, na udhibiti wa gharama.


Vipengele

Mchoro wa Kina

pl30139633-12_kioo_cha_yakuti_2_wafer
kaki ya yakuti

Utangulizi wa wafer ya yakuti ya inchi 12

Kaki ya yakuti ya inchi 12 imeundwa ili kukidhi mahitaji yanayoongezeka ya utengenezaji wa semiconductor ya eneo kubwa, yenye uwezo wa juu wa uzalishaji na optoelectronic. Kadri usanifu wa vifaa unavyoendelea kupanuka na mistari ya uzalishaji ikielekea kwenye miundo mikubwa ya kaki, vijiti vya yakuti vya kipenyo kikubwa sana hutoa faida dhahiri katika uzalishaji, uboreshaji wa mavuno, na udhibiti wa gharama.

Imetengenezwa kwa Al₂O₃ yenye uwazi wa hali ya juu, wafer zetu za yakuti za inchi 12 huchanganya nguvu bora ya mitambo, uthabiti wa joto, na ubora wa uso. Kupitia ukuaji bora wa fuwele na usindikaji wa wafer sahihi, substrates hizi hutoa utendaji wa kuaminika kwa matumizi ya hali ya juu ya LED, GaN, na semiconductor.

Sifa za Nyenzo

 

Yakuti (oksidi ya alumini ya fuwele moja, Al₂O₃) inajulikana sana kwa sifa zake bora za kimwili na kemikali. Vigae vya yakuti vya inchi 12 vinarithi faida zote za nyenzo za yakuti huku vikitoa eneo kubwa zaidi linaloweza kutumika.

Sifa muhimu za nyenzo ni pamoja na:

  • Ugumu wa juu sana na upinzani wa kuvaa

  • Utulivu bora wa joto na kiwango cha juu cha kuyeyuka

  • Upinzani mkubwa wa kemikali kwa asidi na alkali

  • Uwazi wa hali ya juu wa macho kutoka kwa miale ya UV hadi IR

  • Sifa bora za insulation ya umeme

Sifa hizi hufanya wafers za yakuti zenye ukubwa wa inchi 12 zifae kwa mazingira magumu ya usindikaji na michakato ya utengenezaji wa nusu-sekunde yenye joto la juu.

Mchakato wa Uzalishaji

Uzalishaji wa wafers za yakuti zenye ukubwa wa inchi 12 unahitaji ukuaji wa hali ya juu wa fuwele na teknolojia za usindikaji zenye usahihi wa hali ya juu. Mchakato wa kawaida wa utengenezaji unajumuisha:

  1. Ukuaji wa Fuwele Moja
    Fuwele za samafi zenye usafi wa hali ya juu hupandwa kwa kutumia mbinu za hali ya juu kama vile KY au teknolojia zingine za ukuaji wa fuwele zenye kipenyo kikubwa, kuhakikisha mwelekeo sawa wa fuwele na msongo mdogo wa ndani.

  2. Kuunda na Kukata Fuwele
    Ingot ya yakuti imeumbwa kwa usahihi na kukatwa vipande vipande katika vipande vya wafer vya inchi 12 kwa kutumia vifaa vya kukata vyenye usahihi wa hali ya juu ili kupunguza uharibifu wa chini ya ardhi.

  3. Kupiga na Kung'arisha
    Michakato ya upigaji wa hatua nyingi na ung'arishaji wa kemikali (CMP) hutumiwa ili kufikia ukali bora wa uso, ulalo, na usawa wa unene.

  4. Usafi na Ukaguzi
    Kila wafer ya yakuti ya inchi 12 hufanyiwa usafi wa kina na ukaguzi mkali, ikiwa ni pamoja na ubora wa uso, TTV, upinde, mkunjo, na uchambuzi wa kasoro.

Maombi

Vigae vya yakuti vya inchi 12 hutumiwa sana katika teknolojia za hali ya juu na zinazochipuka, ikiwa ni pamoja na:

  • Vipimo vya LED vyenye nguvu nyingi na mwangaza mwingi

  • Vifaa vya umeme vinavyotegemea GaN na vifaa vya RF

  • Kibebaji cha vifaa vya semiconductor na substrates za kuhami joto

  • Madirisha ya macho na vipengele vya macho vya eneo kubwa

  • Ufungashaji wa hali ya juu wa semiconductor na wabebaji maalum wa michakato

Kipenyo kikubwa huwezesha uzalishaji wa juu zaidi na kuboresha ufanisi wa gharama katika uzalishaji wa wingi.

Faida za Wafers za Sapphire za Inchi 12

  • Eneo kubwa linaloweza kutumika kwa ajili ya kutoa matokeo ya juu zaidi kwa kila wafer

  • Uthabiti na usawa wa mchakato ulioboreshwa

  • Gharama iliyopunguzwa kwa kila kifaa katika uzalishaji wa wingi

  • Nguvu bora ya kiufundi kwa utunzaji wa ukubwa mkubwa

  • Vipimo vinavyoweza kubinafsishwa kwa matumizi tofauti

 

Chaguzi za Kubinafsisha

Tunatoa ubinafsishaji unaobadilika kwa wafers za yakuti za inchi 12, ikiwa ni pamoja na:

  • Mwelekeo wa fuwele (C-plane, A-plane, R-plane, n.k.)

  • Unene na uvumilivu wa kipenyo

  • Kung'arisha kwa upande mmoja au pande mbili

  • Wasifu wa ukingo na muundo wa chamfer

  • Mahitaji ya ukali wa uso na ulalo

Kigezo Vipimo Vidokezo
Kipenyo cha kaki Inchi 12 (milimita 300) Kaki ya kawaida yenye kipenyo kikubwa
Nyenzo Yakuti ya fuwele moja (Al₂O₃) Usafi wa hali ya juu, daraja la kielektroniki/macho
Mwelekeo wa Fuwele Ndege-C (0001), Ndege-A (11-20), Ndege-R (1-102) Mielekeo ya hiari inapatikana
Unene 430–500 μm Unene maalum unapatikana kwa ombi
Uvumilivu wa Unene ± 10 μm Uvumilivu mdogo kwa vifaa vya hali ya juu
Tofauti ya Unene Jumla (TTV) ≤10 μm Huhakikisha usindikaji sare kwenye wafer
Upinde ≤50 μm Imepimwa juu ya wafer nzima
Mkunjo ≤50 μm Imepimwa juu ya wafer nzima
Kumaliza Uso Imesuguliwa upande mmoja (SSP) / Imesuguliwa pande mbili (DSP) Uso wa ubora wa juu wa macho
Ukali wa Uso (Ra) ≤0.5 nm (iliyong'arishwa) Ulaini wa kiwango cha atomiki kwa ukuaji wa epitaxial
Wasifu wa Kingo Kibao / Ukingo wa mviringo Ili kuzuia kukwama wakati wa kushughulikia
Usahihi wa Mwelekeo ± 0.5° Huhakikisha ukuaji sahihi wa safu ya epitaxial
Uzito Kamilifu <10 cm⁻² Hupimwa kwa ukaguzi wa macho
Ulalo ≤2 μm / 100 mm Huhakikisha lithografia sare na ukuaji wa epitaxial
Usafi Darasa la 100 - Darasa la 1000 Safi inaoana
Uwasilishaji wa Macho >85% (UV–IR) Inategemea urefu wa wimbi na unene

 

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara Kuhusu Kaki ya Yakuti ya Inchi 12

Q1: Je, unene wa kawaida wa wafer ya yakuti ya inchi 12 ni upi?
J: Unene wa kawaida ni kati ya 430 μm hadi 500 μm. Unene maalum unaweza pia kuzalishwa kulingana na mahitaji ya mteja.

 

Swali la 2: Ni mwelekeo gani wa fuwele unaopatikana kwa wafers za yakuti zenye ukubwa wa inchi 12?
J: Tunatoa mwelekeo wa C-plane (0001), A-plane (11-20), na R-plane (1-102). Mwelekeo mwingine unaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji maalum ya kifaa.

 

Swali la 3: Je, ni tofauti gani ya unene wa jumla (TTV) ya wafer?
J: Vigae vyetu vya yakuti vya inchi 12 kwa kawaida huwa na TTV ≤10 μm, na kuhakikisha usawa katika uso mzima wa vigae kwa ajili ya utengenezaji wa vifaa vya ubora wa juu.

Kuhusu Sisi

XKH inataalamu katika maendeleo ya teknolojia ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum za macho na vifaa vipya vya fuwele. Bidhaa zetu hutoa vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu za mkononi, Kauri, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers za fuwele za semiconductor. Kwa utaalamu stadi na vifaa vya kisasa, tunafanikiwa katika usindikaji wa bidhaa usio wa kawaida, tukilenga kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya juu ya vifaa vya optoelectronic.

kuhusu sisi

  • Iliyotangulia:
  • Inayofuata:

  • Andika ujumbe wako hapa na ututumie