Kaki ya Yakuti ya Inchi 12 kwa ajili ya Utengenezaji wa Semiconductor ya Kiasi Kikubwa
Mchoro wa Kina
Utangulizi wa wafer ya yakuti ya inchi 12
Kaki ya yakuti ya inchi 12 imeundwa ili kukidhi mahitaji yanayoongezeka ya utengenezaji wa semiconductor ya eneo kubwa, yenye uwezo wa juu wa uzalishaji na optoelectronic. Kadri usanifu wa vifaa unavyoendelea kupanuka na mistari ya uzalishaji ikielekea kwenye miundo mikubwa ya kaki, vijiti vya yakuti vya kipenyo kikubwa sana hutoa faida dhahiri katika uzalishaji, uboreshaji wa mavuno, na udhibiti wa gharama.
Imetengenezwa kwa Al₂O₃ yenye uwazi wa hali ya juu, wafer zetu za yakuti za inchi 12 huchanganya nguvu bora ya mitambo, uthabiti wa joto, na ubora wa uso. Kupitia ukuaji bora wa fuwele na usindikaji wa wafer sahihi, substrates hizi hutoa utendaji wa kuaminika kwa matumizi ya hali ya juu ya LED, GaN, na semiconductor.

Sifa za Nyenzo
Yakuti (oksidi ya alumini ya fuwele moja, Al₂O₃) inajulikana sana kwa sifa zake bora za kimwili na kemikali. Vigae vya yakuti vya inchi 12 vinarithi faida zote za nyenzo za yakuti huku vikitoa eneo kubwa zaidi linaloweza kutumika.
Sifa muhimu za nyenzo ni pamoja na:
-
Ugumu wa juu sana na upinzani wa kuvaa
-
Utulivu bora wa joto na kiwango cha juu cha kuyeyuka
-
Upinzani mkubwa wa kemikali kwa asidi na alkali
-
Uwazi wa hali ya juu wa macho kutoka kwa miale ya UV hadi IR
-
Sifa bora za insulation ya umeme
Sifa hizi hufanya wafers za yakuti zenye ukubwa wa inchi 12 zifae kwa mazingira magumu ya usindikaji na michakato ya utengenezaji wa nusu-sekunde yenye joto la juu.
Mchakato wa Uzalishaji
Uzalishaji wa wafers za yakuti zenye ukubwa wa inchi 12 unahitaji ukuaji wa hali ya juu wa fuwele na teknolojia za usindikaji zenye usahihi wa hali ya juu. Mchakato wa kawaida wa utengenezaji unajumuisha:
-
Ukuaji wa Fuwele Moja
Fuwele za samafi zenye usafi wa hali ya juu hupandwa kwa kutumia mbinu za hali ya juu kama vile KY au teknolojia zingine za ukuaji wa fuwele zenye kipenyo kikubwa, kuhakikisha mwelekeo sawa wa fuwele na msongo mdogo wa ndani. -
Kuunda na Kukata Fuwele
Ingot ya yakuti imeumbwa kwa usahihi na kukatwa vipande vipande katika vipande vya wafer vya inchi 12 kwa kutumia vifaa vya kukata vyenye usahihi wa hali ya juu ili kupunguza uharibifu wa chini ya ardhi. -
Kupiga na Kung'arisha
Michakato ya upigaji wa hatua nyingi na ung'arishaji wa kemikali (CMP) hutumiwa ili kufikia ukali bora wa uso, ulalo, na usawa wa unene. -
Usafi na Ukaguzi
Kila wafer ya yakuti ya inchi 12 hufanyiwa usafi wa kina na ukaguzi mkali, ikiwa ni pamoja na ubora wa uso, TTV, upinde, mkunjo, na uchambuzi wa kasoro.
Maombi
Vigae vya yakuti vya inchi 12 hutumiwa sana katika teknolojia za hali ya juu na zinazochipuka, ikiwa ni pamoja na:
-
Vipimo vya LED vyenye nguvu nyingi na mwangaza mwingi
-
Vifaa vya umeme vinavyotegemea GaN na vifaa vya RF
-
Kibebaji cha vifaa vya semiconductor na substrates za kuhami joto
-
Madirisha ya macho na vipengele vya macho vya eneo kubwa
-
Ufungashaji wa hali ya juu wa semiconductor na wabebaji maalum wa michakato
Kipenyo kikubwa huwezesha uzalishaji wa juu zaidi na kuboresha ufanisi wa gharama katika uzalishaji wa wingi.
Faida za Wafers za Sapphire za Inchi 12
-
Eneo kubwa linaloweza kutumika kwa ajili ya kutoa matokeo ya juu zaidi kwa kila wafer
-
Uthabiti na usawa wa mchakato ulioboreshwa
-
Gharama iliyopunguzwa kwa kila kifaa katika uzalishaji wa wingi
-
Nguvu bora ya kiufundi kwa utunzaji wa ukubwa mkubwa
-
Vipimo vinavyoweza kubinafsishwa kwa matumizi tofauti

Chaguzi za Kubinafsisha
Tunatoa ubinafsishaji unaobadilika kwa wafers za yakuti za inchi 12, ikiwa ni pamoja na:
-
Mwelekeo wa fuwele (C-plane, A-plane, R-plane, n.k.)
-
Unene na uvumilivu wa kipenyo
-
Kung'arisha kwa upande mmoja au pande mbili
-
Wasifu wa ukingo na muundo wa chamfer
-
Mahitaji ya ukali wa uso na ulalo
| Kigezo | Vipimo | Vidokezo |
|---|---|---|
| Kipenyo cha kaki | Inchi 12 (milimita 300) | Kaki ya kawaida yenye kipenyo kikubwa |
| Nyenzo | Yakuti ya fuwele moja (Al₂O₃) | Usafi wa hali ya juu, daraja la kielektroniki/macho |
| Mwelekeo wa Fuwele | Ndege-C (0001), Ndege-A (11-20), Ndege-R (1-102) | Mielekeo ya hiari inapatikana |
| Unene | 430–500 μm | Unene maalum unapatikana kwa ombi |
| Uvumilivu wa Unene | ± 10 μm | Uvumilivu mdogo kwa vifaa vya hali ya juu |
| Tofauti ya Unene Jumla (TTV) | ≤10 μm | Huhakikisha usindikaji sare kwenye wafer |
| Upinde | ≤50 μm | Imepimwa juu ya wafer nzima |
| Mkunjo | ≤50 μm | Imepimwa juu ya wafer nzima |
| Kumaliza Uso | Imesuguliwa upande mmoja (SSP) / Imesuguliwa pande mbili (DSP) | Uso wa ubora wa juu wa macho |
| Ukali wa Uso (Ra) | ≤0.5 nm (iliyong'arishwa) | Ulaini wa kiwango cha atomiki kwa ukuaji wa epitaxial |
| Wasifu wa Kingo | Kibao / Ukingo wa mviringo | Ili kuzuia kukwama wakati wa kushughulikia |
| Usahihi wa Mwelekeo | ± 0.5° | Huhakikisha ukuaji sahihi wa safu ya epitaxial |
| Uzito Kamilifu | <10 cm⁻² | Hupimwa kwa ukaguzi wa macho |
| Ulalo | ≤2 μm / 100 mm | Huhakikisha lithografia sare na ukuaji wa epitaxial |
| Usafi | Darasa la 100 - Darasa la 1000 | Safi inaoana |
| Uwasilishaji wa Macho | >85% (UV–IR) | Inategemea urefu wa wimbi na unene |
Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara Kuhusu Kaki ya Yakuti ya Inchi 12
Q1: Je, unene wa kawaida wa wafer ya yakuti ya inchi 12 ni upi?
J: Unene wa kawaida ni kati ya 430 μm hadi 500 μm. Unene maalum unaweza pia kuzalishwa kulingana na mahitaji ya mteja.
Swali la 2: Ni mwelekeo gani wa fuwele unaopatikana kwa wafers za yakuti zenye ukubwa wa inchi 12?
J: Tunatoa mwelekeo wa C-plane (0001), A-plane (11-20), na R-plane (1-102). Mwelekeo mwingine unaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji maalum ya kifaa.
Swali la 3: Je, ni tofauti gani ya unene wa jumla (TTV) ya wafer?
J: Vigae vyetu vya yakuti vya inchi 12 kwa kawaida huwa na TTV ≤10 μm, na kuhakikisha usawa katika uso mzima wa vigae kwa ajili ya utengenezaji wa vifaa vya ubora wa juu.
Kuhusu Sisi
XKH inataalamu katika maendeleo ya teknolojia ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum za macho na vifaa vipya vya fuwele. Bidhaa zetu hutoa vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu za mkononi, Kauri, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers za fuwele za semiconductor. Kwa utaalamu stadi na vifaa vya kisasa, tunafanikiwa katika usindikaji wa bidhaa usio wa kawaida, tukilenga kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya juu ya vifaa vya optoelectronic.










