Tanuru ya Ukuaji wa Fuwele ya Yakuti KY Mbinu ya Kyropoulos kwa Uzalishaji wa Wafer ya Yakuti na Madirisha ya Optiki

Maelezo Mafupi:

Kifaa hiki cha kukuza fuwele za yakuti hutumia mbinu inayoongoza kimataifa ya Kyropoulos (KY), iliyoundwa mahsusi kwa ajili ya ukuaji wa fuwele moja ya yakuti yenye kipenyo kikubwa na kasoro ndogo. Mbinu ya KY huwezesha udhibiti sahihi wa kuvuta fuwele za mbegu, kasi ya mzunguko, na miteremko ya halijoto, kuruhusu ukuaji wa fuwele za yakuti hadi kipenyo cha inchi 300 (milimita 300) katika halijoto ya juu (2000–2200°C). Mifumo ya mbinu ya XKH ya KY hutumika sana katika uzalishaji wa viwandani wa wafers za yakuti za C/A-plane za inchi 2–12 na madirisha ya macho, na kufikia matokeo ya kila mwezi ya vitengo 20. Vifaa hivyo vinaunga mkono michakato ya kutumia dawa za kulevya (km, kutumia dawa za kulevya za Cr³⁰ kwa ajili ya usanisi wa rubi) na hutoa ubora wa fuwele kwa:

Uzito wa kutengana <100/cm²

Usambazaji >85% @ 400–5500 nm


  • :
  • Vipengele

    Kanuni ya Kufanya Kazi

    Kanuni kuu ya mbinu ya KY inahusisha kuyeyusha malighafi ya Al₂O₃ yenye usafi wa hali ya juu katika chombo cha kuchomea cha tungsten/molybdenum kwa joto la 2050°C. Fuwele ya mbegu hushushwa ndani ya kuyeyuka, ikifuatiwa na uondoaji uliodhibitiwa (0.5–10 mm/h) na mzunguko (0.5–20 rpm) ili kufikia ukuaji wa mwelekeo wa fuwele moja za α-Al₂O₃. Sifa muhimu ni pamoja na:

    • Fuwele zenye vipimo vikubwa (upeo wa Φ400 mm × 500 mm)
    • Yakuti ya kiwango cha chini cha mkazo wa macho (upotoshaji wa mbele ya mawimbi <λ/8 @ 633 nm)
    • Fuwele zilizochanganywa (km, Ti³⁰ dozi kwa ajili ya yakuti ya nyota)

    Vipengele vya Mfumo Mkuu

    1. Mfumo wa Kuyeyusha wa Joto la Juu​
    • Kifaa cha kuchomea mchanganyiko cha Tungsten-molybdenum (joto la juu zaidi 2300°C)
    • Hita ya grafiti ya maeneo mengi (± 0.5°C kudhibiti halijoto)

    2. Mfumo wa Ukuaji wa Fuwele​​
    • Utaratibu wa kuvuta unaoendeshwa na servo (± 0.01 mm usahihi)
    • Muhuri wa mzunguko wa majimaji ya sumaku (udhibiti wa kasi usio na hatua kwa rpm 0–30)

    3. Udhibiti wa Sehemu ya Joto​​
    • Udhibiti wa halijoto huru wa ukanda 5 (1800–2200°C)
    • Kinga ya joto inayoweza kurekebishwa (±2°C/cm mteremko)
    • Mfumo wa Vuta na Anga​
    • 10⁻⁴ Pa yenye utupu mwingi
    • Udhibiti wa gesi mchanganyiko wa Ar/N₂/H₂

    4. Ufuatiliaji wa Akili​​
    • Ufuatiliaji wa kipenyo cha fuwele cha CCD kwa wakati halisi
    • Ugunduzi wa kiwango cha kuyeyuka kwa spektri nyingi

    Ulinganisho wa Mbinu ya KY dhidi ya CZ

    Kigezo​ Mbinu ya KY Mbinu ya CZ
    Ukubwa wa Juu wa Fuwele Φ400 mm Φ200 mm
    Kiwango cha Ukuaji 5–15 mm/saa 20–50 mm/saa
    Uzito Kamilifu <100/cm² 500–1000/cm²
    Matumizi ya Nishati 80–120 kWh/kg 50–80 kWh/kg
    Matumizi ya Kawaida Madirisha ya macho/wafer kubwa Vito vya mapambo vya LED

    Maombi Muhimu

    1. Madirisha ya Optoelectronic​​
    • Kuba za IR za kijeshi (usafirishaji >85%@3–5 μm)
    • Madirisha ya leza ya UV (yanastahimili msongamano wa nguvu wa 200 W/cm²)

    2. Vipande vya Semiconductor​
    • Vigae vya GaN epitaxial (inchi 2–8, TTV <10 μm)
    • Viunzi vya SOI (ukali wa uso <0.2 nm)

    3. Vifaa vya Elektroniki vya Watumiaji​​
    • Kioo cha kifuniko cha kamera ya simu mahiri (ugumu wa Mohs 9)
    • Maonyesho ya saa mahiri (uboreshaji wa upinzani wa mikwaruzo mara 10)

    4. Vifaa Maalum​​
    • Optiki za IR zenye usafi wa hali ya juu (kipimo cha ufyonzaji <10⁻³ cm⁻¹)
    • Madirisha ya uchunguzi wa kinuklia (uvumilivu wa mionzi: 10¹⁶ n/cm²)

    Faida za Vifaa vya Kukuza Fuwele za Kyropoulos (KY) Sapphire​

    Kifaa cha kukuza fuwele za yakuti kinachotumia mbinu ya Kyropoulos (KY) hutoa faida zisizo na kifani za kiufundi, kikiiweka kama suluhisho la kisasa kwa uzalishaji wa viwandani. Faida muhimu ni pamoja na:

    1. Uwezo wa Kipenyo Kikubwa​​: Inaweza kukuza fuwele za yakuti zenye kipenyo cha hadi inchi 300 (milimita 300)​​, na kuwezesha uzalishaji wa wafers na vipengele vya macho kwa matumizi ya hali ya juu kama vile epitaksi ya GaN na madirisha ya kiwango cha kijeshi.

    2. Uzito wa Kasoro ya Chini Sana​​: Hufikia msongamano wa kuhama kwa umeme chini ya 100/cm²​ kupitia muundo bora wa uwanja wa joto na udhibiti sahihi wa mteremko wa joto, kuhakikisha uadilifu bora wa fuwele kwa vifaa vya optoelectronic.

    3. Utendaji Bora wa Macho​​: Hutoa upitishaji wa >85%​​ unaoonekana kwa spektra ya infrared (400–5500 nm), muhimu kwa madirisha ya leza ya UV na optiki ya infrared.

    4. Otomatiki ya Kina​​: Ina mifumo ya kuvuta inayoendeshwa na servo (usahihi wa ± 0.01 mm) na mihuri ya mzunguko ya giligili ya sumaku (udhibiti usio na hatua wa rpm 0–30), kupunguza uingiliaji kati wa binadamu na kuongeza uthabiti.

    5. Chaguo za Kutumia Dawa za Kulevya Zinazonyumbulika: Husaidia ubinafsishaji kwa kutumia dawa za kulevya kama vile Cr³⁰ (kwa rubi) na Ti³⁰ (kwa yakuti ya nyota), ikihudumia masoko maalum katika vifaa vya elektroniki na vito.

    6. Ufanisi wa Nishati​​: Insulation bora ya joto (tungsten-molybdenum crucible) hupunguza matumizi ya nishati hadi 80–120 kWh/kg​​, ikishindana na mbinu mbadala za ukuaji.

    7. Uzalishaji Unaoweza Kuongezwa: Hufikia uzalishaji wa kila mwezi wa wafers 5,000+ kwa muda wa mzunguko wa haraka (siku 8–10 kwa fuwele za kilo 30–40), zilizothibitishwa na mitambo zaidi ya 200 ya kimataifa.
    .
    8. Uimara wa Daraja la Kijeshi​: Inajumuisha miundo inayostahimili mionzi na vifaa vinavyostahimili joto (vinaweza kuhimili 10¹⁶ n/cm²), muhimu kwa matumizi ya anga za juu na nyuklia.
    Ubunifu huu unaimarisha mbinu ya KY kama kiwango cha dhahabu cha kutengeneza fuwele za yakuti zenye utendaji wa hali ya juu, na hivyo kusababisha maendeleo katika mawasiliano ya 5G, kompyuta ya kwanta, na teknolojia za ulinzi.

    Huduma za XKH

    XKH hutoa suluhisho kamili za turnkey kwa mifumo ya ukuaji wa fuwele za yakuti, ikijumuisha usakinishaji, uboreshaji wa michakato, na mafunzo ya wafanyakazi ili kuhakikisha ujumuishaji wa uendeshaji usio na mshono. Tunatoa mapishi ya ukuaji yaliyothibitishwa awali (50+) yaliyoundwa kwa mahitaji mbalimbali ya viwanda, na hivyo kupunguza kwa kiasi kikubwa muda wa utafiti na maendeleo kwa wateja. Kwa matumizi maalum, huduma za uundaji maalum huwezesha ubinafsishaji wa mashimo (Φ200–400 mm) na mifumo ya juu ya doping (Cr/Ti/Ni), inayounga mkono vipengele vya macho vyenye utendaji wa hali ya juu na vifaa vinavyostahimili mionzi.

    Huduma zilizoongezwa thamani ni pamoja na usindikaji baada ya ukuaji kama vile kukata, kusaga, na kung'arisha, zikiongezewa na bidhaa mbalimbali za yakuti kama vile wafers, mirija, na vipande vya vito. Huduma hizi zinahudumia sekta kuanzia vifaa vya elektroniki vya watumiaji hadi anga za juu. Usaidizi wetu wa kiufundi unahakikisha udhamini wa miezi 24 na uchunguzi wa mbali wa muda halisi, kuhakikisha muda mdogo wa kutofanya kazi na ufanisi endelevu wa uzalishaji.

    Tanuru ya ukuaji wa ingot ya yakuti 3
    Tanuru ya ukuaji wa ingot ya yakuti 4
    Tanuru ya ukuaji wa ingot ya yakuti 5

  • Iliyotangulia:
  • Inayofuata:

  • Andika ujumbe wako hapa na ututumie