Sapphire Substrate yenye muundo PSS 2inch 4inch 6inch ICP kavu etching inaweza kutumika kwa chips LED
Tabia ya msingi
1. Sifa za nyenzo: Nyenzo ya substrate ni yakuti moja ya fuwele (Al₂O₃), yenye ugumu wa juu, upinzani wa juu wa joto na uthabiti wa kemikali.
2. Muundo wa uso: Uso huu huundwa kwa fotolithografia na kuchongwa katika miundo ya mara kwa mara ya nano-nano, kama vile koni, piramidi au safu za hexagonal.
3. Utendaji wa macho: Kupitia muundo wa muundo wa uso, mwangaza wa jumla wa mwanga kwenye kiolesura hupunguzwa, na ufanisi wa uondoaji wa mwanga unaboreshwa.
4. Utendaji wa joto: Sapphire substrate ina conductivity bora ya mafuta, inayofaa kwa matumizi ya juu ya LED.
5. Vipimo vya ukubwa: Ukubwa wa kawaida ni inchi 2 (50.8mm), inchi 4 (100mm) na inchi 6 (150mm).
Sehemu kuu za maombi
1. Utengenezaji wa LED:
Ufanisi wa uondoaji wa mwanga ulioboreshwa: PSS hupunguza upotezaji wa mwanga kupitia muundo wa muundo, kuboresha kwa kiasi kikubwa mwangaza wa LED na ufanisi mzuri.
Ubora wa ukuaji wa epitaxial ulioboreshwa: Muundo wa muundo hutoa msingi bora wa ukuaji kwa tabaka za epitaxial za GaN na kuboresha utendaji wa LED.
2. Diode ya Laser (LD) :
Laser za nguvu za juu: Uendeshaji wa juu wa mafuta na uthabiti wa PSS unafaa kwa diodi za laser zenye nguvu, kuboresha utendaji wa uondoaji wa joto na kuegemea.
Kiwango cha chini cha sasa: Kuboresha ukuaji wa epitaxial, kupunguza kizingiti cha sasa cha diode ya leza, na kuboresha ufanisi.
3. Photodetector:
Unyeti wa juu: Usambazaji wa mwanga wa juu na msongamano wa chini wa kasoro ya PSS huboresha usikivu na kasi ya mwitikio ya kigundua picha.
Mwitikio mpana wa taswira: yanafaa kwa utambuzi wa umeme wa picha katika mionzi ya jua hadi masafa yanayoonekana.
4. Nguvu za kielektroniki:
Upinzani wa juu wa voltage: insulation ya juu ya Sapphire na utulivu wa mafuta yanafaa kwa vifaa vya nguvu vya juu.
Utaftaji bora wa joto: Uendeshaji wa juu wa mafuta huboresha utendaji wa uondoaji wa joto wa vifaa vya nguvu na kuongeza muda wa huduma.
5. Vifaa vya Rf:
Utendaji wa masafa ya juu: Upotevu wa chini wa dielectri na uthabiti wa juu wa mafuta wa PSS vinafaa kwa vifaa vya RF vya masafa ya juu.
Kelele ya chini: Unene wa juu na msongamano wa chini wa kasoro hupunguza kelele ya kifaa na kuboresha ubora wa mawimbi.
6. Sensorer za kibayolojia:
Ugunduzi wa unyeti wa hali ya juu: Usambazaji wa mwanga wa juu na uthabiti wa kemikali wa PSS unafaa kwa vitambuzi vyenye usikivu wa juu.
Utangamano wa kibiolojia: Utangamano wa kibiolojia wa yakuti huifanya kufaa kwa programu za matibabu na uchunguzi wa kibayolojia.
Sapphire substrate yenye muundo (PSS) yenye nyenzo ya GaN epitaxial:
Sapphire substrate yenye muundo (PSS) ni sehemu ndogo inayofaa kwa ukuaji wa epitaxial wa GaN (gallium nitride). Mishipa isiyobadilika ya yakuti iko karibu na GaN, ambayo inaweza kupunguza kutolingana kwa kimiani na kasoro katika ukuaji wa epitaxial. Muundo wa micro-nano wa uso wa PSS sio tu inaboresha ufanisi wa uchimbaji wa mwanga, lakini pia inaboresha ubora wa kioo wa safu ya epitaxial ya GaN, na hivyo kuboresha utendaji na uaminifu wa LED.
Vigezo vya kiufundi
Kipengee | Sehemu ndogo ya Sapphire yenye muundo (inchi 2~6) | ||
Kipenyo | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
Unene | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
Mwelekeo wa Uso | C-ndege (0001) pembe ya mbali kuelekea mhimili wa M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
C-ndege (0001) pembe ya mbali kuelekea mhimili wa A (11-20) 0 ± 0.1° | |||
Mwelekeo wa Msingi wa Gorofa | A-Ndege (11-20) ± 1.0° | ||
Urefu wa Msingi wa Gorofa | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
R-Ndege | 9-saa | ||
Uso wa Mbele Maliza | Iliyoundwa | ||
Uso wa Nyuma Maliza | SSP:Uwanja mzuri,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi iliyosafishwa,Ra<0.3nm | ||
Alama ya Laser | Upande wa nyuma | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
KINAMIA | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Kutengwa kwa Kingo | ≤2 mm | ||
Uainishaji wa muundo | Muundo wa sura | Kuba, Koni, Piramidi | |
Urefu wa muundo | 1.6~1.8μm | ||
Kipenyo cha muundo | 2.75~2.85μm | ||
Nafasi ya muundo | 0.1~0.3μm |
XKH imebobea katika kutoa substrates za samadi zenye ubora wa juu, zilizogeuzwa kukufaa (PSS) kwa usaidizi wa kiufundi na huduma ya baada ya mauzo ili kuwasaidia wateja kufikia uvumbuzi bora katika nyanja ya LED, display na optoelectronics.
1. Usambazaji wa PSS wa ubora wa juu: Safi ndogo za yakuti zenye muundo katika ukubwa mbalimbali (2 ", 4 ", 6 ") ili kukidhi mahitaji ya vifaa vya LED, onyesho na optoelectronic.
2. Muundo uliobinafsishwa: Geuza kukufaa muundo wa uso wa nano ndogo (kama vile koni, piramidi au safu ya hexagonal) kulingana na mahitaji ya mteja ili kuboresha ufanisi wa uondoaji wa mwanga.
3. Usaidizi wa kiufundi: Toa muundo wa programu ya PSS, uboreshaji wa mchakato na mashauriano ya kiufundi ili kuwasaidia wateja kuboresha utendaji wa bidhaa.
4. Usaidizi wa ukuaji wa Epitaxial: PSS inayolingana na nyenzo za GaN epitaxial hutolewa ili kuhakikisha ukuaji wa safu ya epitaxial ya ubora wa juu.
5. Majaribio na uidhinishaji: Toa ripoti ya ukaguzi wa ubora wa PSS ili kuhakikisha kuwa bidhaa zinakidhi viwango vya sekta.
Mchoro wa kina


