Mashine ya Kupolisha Mihimili ya Ioni kwa ajili ya SiC Si ya samawi

Mashine ya Kung'arisha Mihimili ya Ioni kwa ajili ya yakuti SiC Si Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

Mashine ya Kuchora na Kung'arisha Mihimili ya Ioni inategemea kanuni ya kutoa michirizi ya ioni. Ndani ya chumba chenye utupu mwingi, chanzo cha ioni hutoa plasma, ambayo huharakishwa hadi kuwa boriti ya ioni yenye nishati nyingi. Boriti hii hushambulia uso wa sehemu ya macho, ikiondoa nyenzo kwenye kipimo cha atomiki ili kufikia marekebisho na umaliziaji sahihi wa uso.

Tutumie barua pepe

Vipengele

Mchoro wa Kina

Muhtasari wa Bidhaa ya Mashine ya Kupolisha Mihimili ya Ioni

Kama mchakato usiogusa, ung'arishaji wa boriti ya ioni huondoa msongo wa mitambo na kuepuka uharibifu wa chini ya ardhi, na kuifanya iwe bora kwa kutengeneza optiki zenye usahihi wa hali ya juu zinazotumika katika unajimu, anga za juu, semiconductors, na matumizi ya utafiti wa hali ya juu.

Kanuni ya Kufanya Kazi ya Mashine ya Kupolisha Mihimili ya Ioni

Kizazi cha Ioni
Gesi isiyo na gesi (k.m., argon) huingizwa kwenye chumba cha utupu na kuchanganywa na ioni kupitia mtoko wa umeme ili kuunda plasma.

Kuongeza kasi na Uundaji wa Miale
Ioni huharakishwa hadi volti mia au elfu kadhaa za elektroni (eV) na kuumbwa kuwa sehemu thabiti na yenye miale iliyoelekezwa.

Kuondolewa kwa Nyenzo
Mwale wa ioni humwaga atomi kutoka kwenye uso bila kuanzisha athari za kemikali.

Kugundua Makosa na Kupanga Njia
Mkengeuko wa umbo la uso hupimwa kwa kutumia interferometri. Vitendaji vya kuondoa hutumika ili kubaini muda wa kukaa na kutoa njia bora za zana.

Marekebisho ya Kitanzi Kilichofungwa
Mizunguko ya mara kwa mara ya usindikaji na upimaji huendelea hadi malengo ya usahihi wa RMS/PV yatimizwe.

Sifa Muhimu za Mashine ya Kung'arisha Mihimili ya Ioni

Utangamano wa Uso wa Ulimwenguni- Hushughulikia nyuso tambarare, za duara, za aspherical, na zenye umbo huru

Kiwango cha Kuondoa Kilicho imara Sana- Huwezesha urekebishaji wa takwimu ndogo ya nanomita

Usindikaji Usio na Uharibifu- Hakuna kasoro za chini ya ardhi au mabadiliko ya kimuundo

Utendaji Sawa- Hufanya kazi vizuri sawa kwenye vifaa vyenye ugumu tofauti

Marekebisho ya Masafa ya Chini/Wastani- Huondoa makosa bila kutoa mabaki ya masafa ya kati/ya juu

Mahitaji ya Matengenezo ya Chini- Operesheni ndefu inayoendelea na muda mdogo wa kutofanya kazi

Vipimo Vikuu vya Kiufundi vya Mashine ya Kupolisha Mihimili ya Ioni

Bidhaa	Vipimo
Mbinu ya Usindikaji	Ioni ikimiminika katika mazingira yenye utupu mwingi
Aina ya Usindikaji	Kuchorea na kung'arisha uso bila kugusana
Ukubwa wa Juu wa Kifaa cha Kazi	Φ4000 mm
Shoka za Mwendo	Mhimili 3/mhimili 5
Uthabiti wa Kuondolewa	≥95%
Usahihi wa Uso	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS ya kawaida < 1 nm; PV < 15 nm)
Uwezo wa Kurekebisha Mara kwa Mara	Huondoa hitilafu za masafa ya chini-kati bila kuingiza hitilafu za masafa ya kati/juu
Operesheni Endelevu	Wiki 3-5 bila matengenezo ya utupu
Gharama ya Matengenezo	Chini

Uwezo wa Kusindika wa Mashine ya Kupolisha Mihimili ya Ioni

Aina za Uso Zinazoungwa Mkono

Rahisi: Bapa, duara, prismu

Changamano: Asphere isiyo na ulinganifu/isiyo na ulinganifu, asphere isiyo na mhimili, silinda

Maalum: Optics nyembamba sana, optics za slat, optics za hemispherical, optics za conformal, bamba za awamu, nyuso zenye umbo huru

Nyenzo Zinazoungwa Mkono

Kioo cha macho: Quartz, microcrystalline, K9, nk.

Vifaa vya infrared: Silicon, germanium, nk.

Vyuma: Alumini, chuma cha pua, aloi ya titani, nk.

Fuwele: YAG, kabidi ya silikoni yenye fuwele moja, n.k.

Vifaa vigumu/vilivyochakaa: Kabidi ya silikoni, n.k.

Ubora wa Uso / Usahihi

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Mashine ya Kung'arisha Mihimili ya Ioni6

Mashine ya Kung'arisha Mihimili ya Ioni5

Uchunguzi wa Kesi za Kusindika Mashine ya Kung'arisha Mihimili ya Ioni

Kesi ya 1 - Kioo Bapa Kawaida

Kifaa cha kazi: D630 mm quartz tambarare

Matokeo: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Kesi ya 2 - Kioo cha Kuakisi cha X-ray

Kifaa cha kazi: 150 × 30 mm silicon tambarare

Matokeo: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Mteremko 0.13 µrad

Kesi ya 3 - Kioo Kisicho na Mhimili

Kifaa cha kazi: Kioo cha ardhini cha D326 mm kisicho na mhimili

Matokeo: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara kuhusu Miwani ya Quartz

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara - Mashine ya Kung'arisha Mihimili ya Ioni

Q1: Kung'arisha boriti ya ioni ni nini?
A1:Ung'arishaji wa boriti ya ioni ni mchakato usiohusisha mguso unaotumia boriti iliyolengwa ya ioni (kama vile ioni za argoni) kuondoa nyenzo kutoka kwenye uso wa kazi. Ioni huharakishwa na kuelekezwa kuelekea kwenye uso, na kusababisha kuondolewa kwa nyenzo katika kiwango cha atomiki, na kusababisha umaliziaji laini sana. Mchakato huu huondoa msongo wa mitambo na uharibifu wa chini ya uso, na kuifanya iwe bora kwa vipengele vya macho vya usahihi.

Swali la 2: Mashine ya Kupolisha Mihimili ya Ioni inaweza kusindika aina gani za nyuso?
A2:YaMashine ya Kupolisha Mihimili ya Ioniinaweza kusindika nyuso mbalimbali, ikiwa ni pamoja na vipengele rahisi vya macho kama viletambarare, tufe, na prismu, pamoja na jiometri changamano kama vileaspheres, aspheres zisizo na mhimilinanyuso zenye umbo huruIna ufanisi hasa kwenye vifaa kama vile glasi ya macho, optiki ya infrared, metali, na vifaa vigumu/vilivyochakaa.

Q3: Mashine ya Kupolisha Mihimili ya Ion inaweza kufanya kazi na vifaa gani?
A3:YaMashine ya Kupolisha Mihimili ya Ioniinaweza kung'arisha aina mbalimbali za vifaa, ikiwa ni pamoja na:

Kioo cha macho: Quartz, microcrystalline, K9, nk.
Vifaa vya infrared: Silikoni, germanium, nk.
Vyuma: Alumini, chuma cha pua, aloi ya titani, nk.
Nyenzo za fuwele: YAG, kabidi ya silikoni yenye fuwele moja, n.k.
Vifaa vingine vigumu/vigumu: Kabidi ya silikoni, nk.

Kuhusu Sisi

XKH inataalamu katika maendeleo ya teknolojia ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum za macho na vifaa vipya vya fuwele. Bidhaa zetu hutoa vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu za mkononi, Kauri, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers za fuwele za semiconductor. Kwa utaalamu stadi na vifaa vya kisasa, tunafanikiwa katika usindikaji wa bidhaa usio wa kawaida, tukilenga kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya juu ya vifaa vya optoelectronic.