Mashine ya Kung'arisha Boriti ya Ion kwa yakuti SiC Si

Mashine ya Kung'arisha ya Boriti ya Ion kwa Sapphire SiC Si Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Fupi:

Mashine ya Kuhesabu na Kung'arisha Boriti ya Ion inategemea kanuni yakutapika kwa ion. Ndani ya chumba chenye utupu wa juu, chanzo cha ioni huzalisha plasma, ambayo huharakishwa hadi kwenye boriti ya ioni ya juu ya nishati. Boriti hii hushambulia uso wa kijenzi cha macho, ikiondoa nyenzo kwa mizani ya atomiki ili kufikia urekebishaji na ukamilishaji wa uso ulio sahihi zaidi.

Tutumie barua pepe

Vipengele

Mchoro wa kina

Muhtasari wa Bidhaa wa Mashine ya Kung'arisha Boriti ya Ion

Mashine ya Kuhesabu na Kung'arisha Boriti ya Ion inategemea kanuni ya unyunyizaji wa ioni. Ndani ya chumba chenye utupu wa juu, chanzo cha ioni huzalisha plasma, ambayo huharakishwa hadi kwenye boriti ya ioni ya juu ya nishati. Boriti hii hushambulia uso wa kijenzi cha macho, ikiondoa nyenzo kwa mizani ya atomiki ili kufikia urekebishaji na ukamilishaji wa uso ulio sahihi zaidi.

Kama mchakato usio wa mawasiliano, ung'aaji wa boriti ya ioni huondoa mkazo wa kimitambo na huepuka uharibifu wa uso chini ya ardhi, na kuifanya kuwa bora kwa utengenezaji wa macho ya usahihi wa hali ya juu inayotumika katika unajimu, anga, halvledare na maombi ya kina ya utafiti.

Kanuni ya Kufanya kazi ya Mashine ya Kung'arisha Boriti ya Ion

Kizazi cha Ion
Gesi ajizi (kwa mfano, argon) huletwa ndani ya chumba cha utupu na ionized kupitia kutokwa kwa umeme ili kuunda plasma.

Kuongeza Kasi & Uundaji wa Boriti
Ioni huharakishwa hadi volti mia kadhaa au elfu za elektroni (eV) na umbo la doa thabiti la boriti.

Uondoaji wa Nyenzo
Boriti ya ioni hunyunyiza atomi kutoka kwenye uso bila kuanzisha athari za kemikali.

Ugunduzi wa Hitilafu na Upangaji wa Njia
Upungufu wa takwimu za uso hupimwa kwa interferometry. Uondoaji wa utendakazi hutumika kubainisha muda wa kukaa na kuzalisha njia za zana zilizoboreshwa.

Marekebisho ya Kitanzi kilichofungwa
Mizunguko ya kurudia ya kuchakata na kupima inaendelea hadi malengo ya usahihi wa RMS/PV yatimizwe.

Sifa Muhimu za Mashine ya Kung'arisha Boriti ya Ion

Utangamano wa Uso wa Universal- Hushughulikia nyuso tambarare, duara, za aspherical na zenye umbo huria

Kiwango cha Uondoaji Imara Zaidi- Huwasha urekebishaji wa takwimu za nanometer ndogo

Usindikaji Usio na Uharibifu- Hakuna kasoro za uso au mabadiliko ya kimuundo

Utendaji thabiti- Inafanya kazi sawa kwenye nyenzo za ugumu tofauti

Marekebisho ya Marudio ya Chini/Wastani- Huondoa hitilafu bila kuzalisha vizalia vya kati/masafa ya juu

Mahitaji ya Matengenezo ya Chini- Operesheni ndefu inayoendelea na wakati mdogo wa kupumzika

Vipimo Kuu vya Kiufundi vya Mashine ya Kung'arisha boriti ya Ion

Kipengee	Vipimo
Njia ya Usindikaji	Ion kunyunyiza katika mazingira ya utupu wa juu
Aina ya Usindikaji	Uchoraji na ung'arishaji wa uso usio wa watu wa kugusa
Ukubwa wa Max Workpiece	Φ4000 mm
Vishoka Mwendo	mhimili 3 / mhimili 5
Utulivu wa Kuondoa	≥95%
Usahihi wa Uso	PV <10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (kawaida RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
Uwezo wa Kurekebisha Masahihisho	Huondoa hitilafu za masafa ya chini-wastani bila kuanzisha hitilafu za masafa ya kati/ya juu
Operesheni inayoendelea	Wiki 3-5 bila matengenezo ya utupu
Gharama ya Matengenezo	Chini

Uwezo wa Usindikaji wa Mashine ya Kung'arisha Boriti ya Ion

Aina za uso zinazotumika

Rahisi: Gorofa, spherical, prism

Changamano: tufe linganifu/asymmetric, tufe la nje ya mhimili, silinda

Maalum: Optics nyembamba sana, macho ya slat, optics ya hemispherical, optics ya kawaida, sahani za awamu, nyuso za fomu huru

Nyenzo Zinazosaidiwa

Kioo cha macho: Quartz, microcrystalline, K9, nk.

Nyenzo za infrared: Silicon, germanium, nk.

Vyuma: Alumini, chuma cha pua, aloi ya titani, nk.

Fuwele: YAG, carbudi ya silicon ya fuwele moja, nk.

Nyenzo ngumu / brittle: Silicon carbudi, nk.

Ubora wa uso / Usahihi

PV chini ya 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Kuchakata Uchunguzi wa Mashine ya Kung'arisha Ion Beam

Kesi ya 1 - Kioo cha Kawaida cha Flat

Sehemu ya kazi: gorofa ya quartz ya D630 mm

Matokeo: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Kesi 2 - Kioo cha Kutafakari cha X-ray

Kazi ya kazi: gorofa ya silicon 150 × 30 mm

Matokeo: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Mteremko 0.13 µrad

Kesi ya 3 - Kioo cha Off-Axis

Kioo cha chini cha mhimili wa D326 mm

Matokeo: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara ya Miwani ya Quartz

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara - Mashine ya Kung'arisha Boriti ya Ion

Q1: Kung'arisha boriti ya ion ni nini?
A1:Kung'arisha boriti ya ioni ni mchakato usio wa kugusana ambao hutumia boriti iliyolengwa ya ayoni (kama vile ioni za argon) ili kuondoa nyenzo kutoka kwa sehemu ya kazi. Ayoni huharakishwa na kuelekezwa kwenye uso, na kusababisha uondoaji wa nyenzo za kiwango cha atomiki, na kusababisha miisho laini zaidi. Utaratibu huu huondoa mkazo wa mitambo na uharibifu wa chini ya uso, na kuifanya kuwa bora kwa vipengele vya usahihi vya macho.

Q2: Ni aina gani za nyuso zinaweza mchakato wa Mashine ya Kung'arisha Ion Beam?
A2:TheMashine ya Kung'arisha Boriti ya Ioninaweza kusindika nyuso mbalimbali, ikiwa ni pamoja na vipengele rahisi vya macho kamagorofa, tufe, na prisms, pamoja na jiometri tata kamanyanja, tufe za mhimili wa mbali, nanyuso za bure. Inatumika hasa kwa nyenzo kama vile glasi ya macho, macho ya infrared, metali, na nyenzo ngumu/brittle.

Q3: Mashine ya Kung'arisha ya Ion Beam inaweza kufanya kazi na nyenzo gani?
A3:TheMashine ya Kung'arisha Boriti ya Ioninaweza polisha anuwai ya vifaa, pamoja na:

Kioo cha macho: Quartz, microcrystalline, K9, nk.
Nyenzo za infrared: Silicon, germanium, nk.
Vyuma: Alumini, chuma cha pua, aloi ya titani, nk.
Nyenzo za kioo: YAG, carbudi ya silikoni ya fuwele moja, n.k.
Nyenzo zingine ngumu / brittle: Silicon carbudi, nk.

Kuhusu Sisi

XKH inataalam katika ukuzaji wa hali ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum ya macho na nyenzo mpya za fuwele. Bidhaa zetu hutumikia vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu ya mkononi, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na kaki za kioo za semiconductor. Kwa utaalamu wenye ujuzi na vifaa vya kisasa, tunafanya vyema katika usindikaji wa bidhaa zisizo za kawaida, kwa lengo la kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya optoelectronic.