Vigae vya SiC vya inchi 4 6H Vigae vya SiC vya nusu-kuhami joto ni vya ubora wa juu, utafiti, na daraja la bandia.

Maelezo Mafupi:

Substrate ya kabaidi ya silikoni yenye insulation nusu huundwa kwa kukata, kusaga, kung'arisha, kusafisha na teknolojia nyingine za usindikaji baada ya ukuaji wa fuwele ya kabaidi ya silikoni yenye insulation nusu. Safu ya fuwele ya safu au tabaka nyingi hupandwa kwenye substrate inayokidhi mahitaji ya ubora kama epitaxy, na kisha kifaa cha RF cha microwave hutengenezwa kwa kuchanganya muundo na ufungashaji wa saketi. Inapatikana kama substrate za 2inch 3inch 4incgh 6inch 8inch 8 za viwandani, utafiti na majaribio ya daraja la nusu kabaidi ya silikoni yenye insulation nusu.


Vipengele

Vipimo vya Bidhaa

Daraja

Daraja la Uzalishaji la MPD Sifuri (Daraja la Z)

Daraja la Uzalishaji Sawa (Daraja la P)

Daraja la Kipuuzi (Daraja la D)

 
Kipenyo 99.5 mm ~ 100.0 mm  
  4H-SI 500 μm±20 μm

500 μm±25 μm

 
Mwelekeo wa kafu  

 

Mhimili usio na mhimili: 4.0° kuelekea< 1120 > ± 0.5° kwa 4H-N, Mhimili ulio kwenye mhimili: <0001>± 0.5° kwa 4H-SI

 
  4H-SI

≤1cm-2

≤5 cm-2

≤15 cm-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·cm

≥1E5 Ω·cm

 
Mwelekeo wa Msingi Bapa

{10-10} ±5.0°

 
Urefu wa Msingi Bapa 32.5 mm±2.0 mm  
Urefu wa Pili Bapa 18.0 mm±2.0 mm  
Mwelekeo wa Pili Bapa

Silicon inakabiliwa juu: 90° CW. kutoka Prime flat ±5.0°

 
Kutengwa kwa Ukingo

3 mm

 
LTV/TTV/Upinde/Mkunjo ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm  
 

Ukali

Uso wa C

    Kipolandi Ra≤1 nm

Uso wa Si

CMP Ra≤0.2 nm    

Ra≤0.5 nm

Nyufa za Ukingo Kwa Mwangaza wa Nguvu ya Juu

Hakuna

Urefu wa jumla ≤ 10 mm, moja

urefu ≤2 mm

 
Sahani za Hex Kwa Mwangaza wa Kiwango cha Juu Eneo la jumla ≤0.05% Eneo la jumla ≤0.1%  
Maeneo ya Polytype Kwa Mwangaza wa Kiwango cha Juu

Hakuna

Eneo la jumla ≤3%  
Viambatisho vya Kaboni Vinavyoonekana Eneo la jumla ≤0.05% Eneo la jumla ≤3%  
Mikwaruzo ya Uso wa Siliconi Kwa Mwangaza wa Kiwango cha Juu  

Hakuna

Urefu wa jumla ≤1 * kipenyo cha kaki  
Chipsi za Ukingo zenye Mwangaza wa Juu kwa Nguvu Hakuna kinachoruhusiwa upana na kina cha ≥0.2 mm 5 zinaruhusiwa, ≤1 mm kila moja  
Uchafuzi wa Uso wa Siliconi Kwa Nguvu ya Juu

Hakuna

 
Ufungashaji

Kaseti ya Kabati ya Wafer nyingi au Chombo Kimoja cha Kabati

 

Mchoro wa Kina

Mchoro wa Kina (1)
Mchoro wa Kina (2)

  • Iliyotangulia:
  • Inayofuata:

  • Andika ujumbe wako hapa na ututumie