Vigae vya SiC vya inchi 4 6H Vigae vya SiC vya nusu-kuhami joto ni vya ubora wa juu, utafiti, na daraja la bandia.
Vipimo vya Bidhaa
| Daraja | Daraja la Uzalishaji la MPD Sifuri (Daraja la Z) | Daraja la Uzalishaji Sawa (Daraja la P) | Daraja la Kipuuzi (Daraja la D) | ||||||||
| Kipenyo | 99.5 mm ~ 100.0 mm | ||||||||||
| 4H-SI | 500 μm±20 μm | 500 μm±25 μm | |||||||||
| Mwelekeo wa kafu |
Mhimili usio na mhimili: 4.0° kuelekea< 1120 > ± 0.5° kwa 4H-N, Mhimili ulio kwenye mhimili: <0001>± 0.5° kwa 4H-SI | ||||||||||
| 4H-SI | ≤1cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ||||||||
| 4H-SI | ≥1E9 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||||||||
| Mwelekeo wa Msingi Bapa | {10-10} ±5.0° | ||||||||||
| Urefu wa Msingi Bapa | 32.5 mm±2.0 mm | ||||||||||
| Urefu wa Pili Bapa | 18.0 mm±2.0 mm | ||||||||||
| Mwelekeo wa Pili Bapa | Silicon inakabiliwa juu: 90° CW. kutoka Prime flat ±5.0° | ||||||||||
| Kutengwa kwa Ukingo | 3 mm | ||||||||||
| LTV/TTV/Upinde/Mkunjo | ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||||||||
| Ukali | Uso wa C | Kipolandi | Ra≤1 nm | ||||||||
| Uso wa Si | CMP | Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||||||
| Nyufa za Ukingo Kwa Mwangaza wa Nguvu ya Juu | Hakuna | Urefu wa jumla ≤ 10 mm, moja urefu ≤2 mm | |||||||||
| Sahani za Hex Kwa Mwangaza wa Kiwango cha Juu | Eneo la jumla ≤0.05% | Eneo la jumla ≤0.1% | |||||||||
| Maeneo ya Polytype Kwa Mwangaza wa Kiwango cha Juu | Hakuna | Eneo la jumla ≤3% | |||||||||
| Viambatisho vya Kaboni Vinavyoonekana | Eneo la jumla ≤0.05% | Eneo la jumla ≤3% | |||||||||
| Mikwaruzo ya Uso wa Siliconi Kwa Mwangaza wa Kiwango cha Juu | Hakuna | Urefu wa jumla ≤1 * kipenyo cha kaki | |||||||||
| Chipsi za Ukingo zenye Mwangaza wa Juu kwa Nguvu | Hakuna kinachoruhusiwa upana na kina cha ≥0.2 mm | 5 zinaruhusiwa, ≤1 mm kila moja | |||||||||
| Uchafuzi wa Uso wa Siliconi Kwa Nguvu ya Juu | Hakuna | ||||||||||
| Ufungashaji | Kaseti ya Kabati ya Wafer nyingi au Chombo Kimoja cha Kabati | ||||||||||
Mchoro wa Kina
Bidhaa Zinazohusiana
Andika ujumbe wako hapa na ututumie






