150mm 200mm inchi 6 GaN kwenye safu ya kaki ya Silicon Epi ya Gallium nitride epitaxial
Mbinu ya utengenezaji
Mchakato wa utengenezaji unahusisha kukuza tabaka za GaN kwenye sehemu ndogo ya yakuti kwa kutumia mbinu za hali ya juu kama vile uwekaji wa mvuke wa kemikali-hai wa metali (MOCVD) au epitaksi ya molekuli (MBE). Mchakato wa uwekaji unafanywa chini ya hali zilizodhibitiwa ili kuhakikisha ubora wa juu wa fuwele na filamu sare.
6inch GaN-On-Sapphire maombi: 6-inch sapphire substrate chips hutumiwa sana katika mawasiliano ya microwave, mifumo ya rada, teknolojia ya wireless na optoelectronics.
Baadhi ya maombi ya kawaida ni pamoja na
1. Amplifier ya nguvu ya Rf
2. Sekta ya taa ya LED
3. Vifaa vya mawasiliano vya mtandao visivyo na waya
4. Vifaa vya umeme katika mazingira ya joto la juu
5. Vifaa vya Optoelectronic
Vipimo vya bidhaa
- Ukubwa: Kipenyo cha substrate ni inchi 6 (karibu 150 mm).
- Ubora wa uso: Uso umeng'olewa vyema ili kutoa ubora bora wa kioo.
- Unene: Unene wa safu ya GaN inaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji maalum.
- Ufungaji: Sehemu ndogo imefungwa kwa uangalifu na vifaa vya kuzuia tuli ili kuzuia uharibifu wakati wa usafirishaji.
- Mipangilio ya kingo: Sehemu ndogo ina kingo maalum za kuweka ambazo hurahisisha upangaji na utendakazi wakati wa utayarishaji wa kifaa.
- Vigezo vingine: Vigezo maalum kama vile wembamba, upinzani na mkusanyiko wa doping vinaweza kubadilishwa kulingana na mahitaji ya wateja.
Pamoja na mali zao za hali ya juu na matumizi tofauti, kaki za sapphire za inchi 6 ni chaguo la kuaminika kwa ukuzaji wa vifaa vya utendaji wa juu vya semiconductor katika tasnia mbalimbali.
Substrate | 6” 1mm <111> p-aina ya Si | 6” 1mm <111> p-aina ya Si |
Epi ThickAvg | ~ 5um | ~ 7um |
Epi ThickUnif | <2% | <2% |
Upinde | +/-45um | +/-45um |
Kupasuka | chini ya mm 5 | chini ya mm 5 |
BV wima | >1000V | >1400V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT ThickAvg | 20-30nm | 20-30nm |
Insitu SiN Cap | 5-60nm | 5-60nm |
Mchanganyiko wa 2DEG | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Uhamaji | ~2000cm2/Vs (<2%) | ~2000cm2/Vs (<2%) |
Rsh | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |