Hatua ya Kubeba Hewa ya SiC ya Usahihi wa Juu

Maelezo Mafupi:

Kwa mageuzi endelevu ya tasnia ya nusu-sekondi, vifaa vya usindikaji na ukaguzi vinahitaji utendaji wa juu zaidi. Kwa msingi wa utaalamu mkubwa katika udhibiti wa mwendo na uwekaji wa kiwango cha nanomita, tumeunda hatua ya hewa ya mhimili mbili ya sayari ya H yenye usahihi wa hali ya juu.

Tutumie barua pepe

Vipengele

Mchoro wa Kina

Muhtasari

Imeundwa kwa muundo wa kauri wa silicon carbide (SiC) iliyoboreshwa kwa vipengele vidogo na teknolojia ya kubeba hewa iliyolipwa, jukwaa hutoa usahihi bora, ugumu, na mwitikio wa nguvu. Inafaa zaidi kwa:

Usindikaji na ukaguzi wa nusu kondakta
Utengenezaji na upimaji wa vipimo vidogo/nano
Kukata na kung'arisha kwa kiwango cha nanomita
Uchanganuzi wa usahihi wa kasi ya juu

Vipengele Muhimu

Njia ya kuongoza yenye hewa ya SiCkwa ugumu na usahihi wa hali ya juu sana
Mienendo ya juu: kasi hadi 1 m/s, kuongeza kasi hadi 4 g, kutulia haraka
Gantry yenye sehemu mbili za kuingilia mhimili wa Yinahakikisha uwezo mkubwa wa kubeba mzigo na uthabiti
Chaguo za kisimbaji: wavu wa macho au kipima-interferomita cha leza
Usahihi wa nafasi: ± 0.15 μm;kurudia: ± 75 nm
Uelekezaji wa kebo ulioboreshwakwa muundo safi na uaminifu wa muda mrefu
Mipangilio inayoweza kubinafsishwakwa mahitaji maalum ya programu

Ubunifu wa Usahihi wa Juu na Uendeshaji wa Moja kwa Moja, Usanifu Usiogusa

Fremu ya Kauri ya SiC: ~5× ugumu wa aloi ya alumini na ~5× upanuzi wa chini wa joto, kuhakikisha uthabiti wa kasi ya juu na uimara wa joto.
Kubeba Hewa Kulipishwa: Muundo wa umiliki huongeza ugumu, uwezo wa mzigo, na uthabiti wa mwendo.
Utendaji Unaobadilika: Inasaidia kasi ya m 1/s na kuongeza kasi ya 4 g, bora kwa michakato ya utoaji wa juu.
Ujumuishaji Usio na Mshono: Inaendana na mifumo ya kutenganisha mitetemo, hatua za mzunguko, moduli za kuegemea, na majukwaa ya kushughulikia wafer.
Usimamizi wa Kebo: Radius inayopinda inayodhibitiwa hupunguza msongo wa mawazo kwa maisha marefu ya huduma.

Mota ya Linear Isiyo na MsingiMwendo laini bila nguvu ya kugonga.
Hifadhi ya Mota Nyingi: Uwekaji wa injini ya mzigo huboresha unyoofu, ulaini, na usahihi wa pembe.
Kutengwa kwa Joto: Mota zimetengwa kutoka kwa muundo wa jukwaa; hiari ya kupoeza hewa au maji kwa mizunguko ya kazi kubwa.

Vipimo

Mfano	400-400	500-500	600-600
Shoka	X (skani) / Y (hatua)	X (skani) / Y (hatua)	X (skani) / Y (hatua)
Usafiri (mm)	400/400	500/500	600/600
Usahihi (μm)	± 0.15	± 0.2	± 0.2
Kurudia (nm)	±75	± 100	± 100
Azimio (nm)	0.3	0.3	0.3
Kasi ya Juu Zaidi (m/s)	1	1	1
Kuongeza kasi (g)	4	4	4
Unyoofu (μm)	± 0.2	± 0.3	± 0.4
Uthabiti (nm)	± 5	± 5	± 5
Mzigo wa Juu (kg)	20	20	20
Lami/Roli/Yaw (sekunde ya arc)	± 1	± 1	± 1

Masharti ya Mtihani:

Ugavi wa hewa: safi, kavu; kiwango cha umande ≤ 0°F; uchujaji wa chembe ≤ 0.25 μm; au nitrojeni 99.99%.
Usahihi uliopimwa 25 mm juu ya kituo cha hatua kwa 20±1 °C, 40–60% RH.

Maombi

Lithografia ya semiconductor, ukaguzi, na utunzaji wa wafer
Utengenezaji wa micro/nano na upimaji wa usahihi
Utengenezaji wa optiki za hali ya juu na interferometri
Anga na utafiti wa kisayansi wa hali ya juu

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara - Hatua ya Kubeba Hewa ya Silicon Carbide

1. Hatua ya kubeba hewa ni nini?

Jukwaa lenye hewa hutumia filamu nyembamba ya hewa iliyoshinikizwa kati ya jukwaa na njia ya kuelekezea ili kutoamwendo usio na msuguano, usiochakaa, na laini sanaTofauti na fani za kawaida za mitambo, huondoa kuteleza kwa fimbo, hutoa usahihi wa kiwango cha nanomita, na inasaidia uaminifu wa muda mrefu.

2. Kwa nini utumie kabidi ya silikoni (SiC) kwa ajili ya muundo wa jukwaa?

Ugumu wa hali ya juu: ~5× ile ya aloi ya alumini, ikipunguza ubadilikaji wakati wa mwendo unaobadilika.
Upanuzi wa joto la chini: ~5× chini ya alumini, kudumisha usahihi chini ya mabadiliko ya halijoto.
Nyepesi: Uzito mdogo ukilinganishwa na chuma, na hivyo kuwezesha uendeshaji wa kasi ya juu na wa kasi ya juu.
Utulivu bora: Unyevu na ugumu wa hali ya juu kwa ajili ya kuweka nafasi kwa usahihi wa hali ya juu.

3. Je, hatua inahitaji ulainishaji au matengenezo?

Hakuna ulainishaji wa kitamaduni unaohitajika kwa sababu kunahakuna mguso wa kiufundiMatengenezo yaliyopendekezwa yanajumuisha:

Usambazajihewa safi, kavu iliyoshinikizwa au nitrojeni
Ukaguzi wa mara kwa mara wa vichujio na vifaa vya kukaushia
Kufuatilia nyaya na mifumo ya kupoeza

4. Mahitaji ya usambazaji wa hewa ni yapi?

Sehemu ya umande: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Uchujaji wa chembe: ≤ 0.25 μm
Hewa safi, kavu au nitrojeni safi 99.99%
Shinikizo thabiti na mabadiliko madogo

Kuhusu Sisi

XKH inataalamu katika maendeleo ya teknolojia ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum za macho na vifaa vipya vya fuwele. Bidhaa zetu hutoa vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu za mkononi, Kauri, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers za fuwele za semiconductor. Kwa utaalamu stadi na vifaa vya kisasa, tunafanikiwa katika usindikaji wa bidhaa usio wa kawaida, tukilenga kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya juu ya vifaa vya optoelectronic.