Boti ya Kabidi ya Silikoni (SiC) ya Wafer

Picha Iliyoangaziwa ya Boti ya Kabidi ya Silikoni (SiC)

Maelezo Mafupi:

Boti ya wafer ya Silicon Carbide (SiC) ni kibebaji cha michakato ya nusu-semiconductor kilichotengenezwa kwa nyenzo ya SiC safi sana, iliyoundwa kushikilia na kusafirisha wafer wakati wa michakato muhimu ya halijoto ya juu kama vile epitaksi, oksidasi, usambazaji, na ufyonzaji.

Tutumie barua pepe

Vipengele

Mchoro wa Kina

Muhtasari wa Kioo cha Quartz

Kwa maendeleo ya haraka ya semiconductors za nguvu na vifaa vya upana wa bendi, boti za kawaida za quartz zinakabiliwa na mapungufu kama vile mabadiliko katika halijoto ya juu, uchafuzi mkubwa wa chembe, na maisha mafupi ya huduma. Boti za wafer za SiC, zenye utulivu bora wa joto, uchafuzi mdogo, na maisha marefu, zinazidi kuchukua nafasi ya boti za quartz na kuwa chaguo linalopendelewa katika utengenezaji wa vifaa vya SiC.

Vipengele Muhimu

1. Faida za Nyenzo

Imetengenezwa kwa SiC safi sana yenyeugumu na nguvu nyingi.
Kiwango cha kuyeyuka zaidi ya 2700°C, juu zaidi kuliko kwartz, kuhakikisha utulivu wa muda mrefu katika mazingira magumu.

2. Sifa za Joto

Upitishaji joto wa juu kwa ajili ya uhamishaji joto wa haraka na sare, na kupunguza msongo wa wafer.
Kipimo cha upanuzi wa joto (CTE) kinalingana kwa karibu na substrates za SiC, na hivyo kupunguza upinde na ufa wa wafer.

3. Uthabiti wa Kemikali

Imara chini ya halijoto ya juu na angahewa mbalimbali (H₂, N₂, Ar, NH₃, nk.).
Upinzani bora wa oksidi, kuzuia kuoza na uzalishaji wa chembe.

4. Utendaji wa Mchakato

Uso laini na mnene hupunguza kumwaga na uchafuzi wa chembe.
Hudumisha uthabiti wa vipimo na uwezo wa mzigo baada ya matumizi ya muda mrefu.

5. Ufanisi wa Gharama

Maisha ya huduma mara 3–5 zaidi kuliko boti za quartz.
Kupunguza masafa ya matengenezo, kupunguza muda wa kutofanya kazi na gharama za uingizwaji.

Maombi

SiC Epitaksi: Kusaidia substrates za SiC zenye inchi 4, inchi 6, na inchi 8 wakati wa ukuaji wa epitaxial katika halijoto ya juu.
Utengenezaji wa Kifaa cha Nguvu: Inafaa kwa SiC MOSFET, Schottky Barrier Diodes (SBDs), IGBTs, na vifaa vingine.
Matibabu ya Joto: Michakato ya kunyonya, nitridi, na uwekaji wa kaboni.
Oksidasheni na Uenezaji: Jukwaa thabiti la usaidizi wa wafer kwa ajili ya oksidi na usambazaji wa joto la juu.

Vipimo vya Kiufundi

Bidhaa	Vipimo
Nyenzo	Kabidi ya Silikoni Safi Sana (SiC)
Ukubwa wa kaki	Inchi 4 / Inchi 6 / Inchi 8 (inaweza kubinafsishwa)
Halijoto ya Juu Zaidi ya Uendeshaji.	≤ 1800°C
CTE ya Upanuzi wa Joto	4.2 × 10⁻⁶ /K (karibu na substrate ya SiC)
Uendeshaji wa joto	120–200 W/m·K
Ukali wa Uso	Ra < 0.2 μm
Usambamba	± 0.1 mm
Maisha ya Huduma	≥ 3× ndefu kuliko boti za quartz

Ulinganisho: Boti ya Quartz dhidi ya Boti ya SiC

Kipimo	Boti ya Quartz	Boti ya SiC
Upinzani wa Joto	≤ 1200°C, mabadiliko katika halijoto ya juu.	≤ 1800°C, imara kwa joto
Mechi ya CTE na SiC	Kutolingana sana, hatari ya msongo wa mawazo	Sambamba, hupunguza kupasuka kwa wafer
Uchafuzi wa Chembe	Juu, hutoa uchafu	Uso wa chini, laini na mnene
Maisha ya Huduma	Uingizwaji mfupi, wa mara kwa mara	Muda mrefu, maisha marefu ya 3–5×
Mchakato Unaofaa	Epitaksia ya kawaida	Imeboreshwa kwa ajili ya vifaa vya SiC epitaxy na vya umeme

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara - Boti za Kabidi za Silikoni (SiC)

1. Boti ya SiC wafer ni nini?

Boti ya wafer ya SiC ni kibebaji cha michakato ya nusu-semiconductor kilichotengenezwa kwa kabidi ya silikoni yenye usafi wa hali ya juu. Inatumika kushikilia na kusafirisha wafer wakati wa michakato ya hali ya juu kama vile epitaksi, oksidasi, usambazaji, na annealing. Ikilinganishwa na boti za kawaida za quartz, boti za wafer za SiC hutoa uthabiti bora wa joto, uchafuzi mdogo, na maisha marefu ya huduma.

2. Kwa nini uchague boti za SiC wafer badala ya boti za quartz?

Upinzani wa halijoto ya juu: Imara hadi 1800°C dhidi ya quartz (≤1200°C).
Ulinganisho bora wa CTE: Karibu na substrates za SiC, kupunguza msongo wa wafer na kupasuka.
Uzalishaji wa chembe ndogo: Uso laini na mnene hupunguza uchafuzi.
Muda mrefu zaidi wa maisha: Mara 3–5 zaidi ya boti za quartz, hivyo kupunguza gharama ya umiliki.

3. Boti za SiC za wafer zinaweza kubeba ukubwa gani wa wafer?

Tunatoa miundo ya kawaida kwaInchi 4, inchi 6, na inchi 8wafers, zenye ubinafsishaji kamili unaopatikana ili kukidhi mahitaji ya wateja.

4. Ni katika michakato gani ambayo boti za SiC wafer hutumika sana?

Ukuaji wa epitaxial ya SiC
Utengenezaji wa vifaa vya semiconductor vya nguvu (SiC MOSFET, SBD, IGBTs)
Upanuzi wa joto la juu, nitridi, na uwekaji wa kaboni
Michakato ya oksidi na uenezaji

Kuhusu Sisi

XKH inataalamu katika maendeleo ya teknolojia ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum za macho na vifaa vipya vya fuwele. Bidhaa zetu hutoa vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu za mkononi, Kauri, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers za fuwele za semiconductor. Kwa utaalamu stadi na vifaa vya kisasa, tunafanikiwa katika usindikaji wa bidhaa usio wa kawaida, tukilenga kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya juu ya vifaa vya optoelectronic.