Silicon CARBIDE kauri tray sucker Silicon CARBIDE kauri tube usambazaji joto la juu sintering usindikaji desturi

Silicon CARBIDE trei sucker Silicon CARBIDE kauri tube usambazaji joto la juu sintering usindikaji desturi Picha Matukio

Maelezo Fupi:

Trei ya kauri ya silicon CARBIDE na mirija ya kauri ya silicon ni nyenzo za utendaji wa juu zinazohitajika katika utengenezaji wa semicondukta. Silicon CARBIDE kauri tray ni hasa kutumika katika usindikaji kaki fasta na kuzaa, ili kuhakikisha utulivu wa mchakato high-usahihi; Mirija ya kauri ya silicon carbide hutumiwa sana katika mirija ya tanuru ya joto la juu, mirija ya tanuru ya kueneza na matukio mengine ili kuhimili mazingira yaliyokithiri na kudumisha usimamizi bora wa mafuta. Zote mbili zinatokana na silicon carbudi kama nyenzo ya msingi, ambayo imekuwa sehemu muhimu katika tasnia ya semiconductor kwa sababu ya mali yake bora ya mwili na kemikali.

Tutumie barua pepe

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Vipengele kuu:

1. Silicon carbudi kauri tray
- Ugumu wa juu na upinzani wa kuvaa: ugumu ni karibu na almasi, na inaweza kuhimili kuvaa kwa mitambo katika usindikaji wa kaki kwa muda mrefu.
- Conductivity ya juu ya mafuta na mgawo wa upanuzi wa chini wa mafuta: uharibifu wa joto haraka na utulivu wa dimensional, kuepuka deformation inayosababishwa na matatizo ya joto.
- Ulaini wa juu na umaliziaji wa uso: Uso wa kujaa ni hadi kiwango cha micron, kuhakikisha mguso kamili kati ya kaki na diski, kupunguza uchafuzi na uharibifu.
Uthabiti wa kemikali: Upinzani mkubwa wa kutu, unaofaa kwa kusafisha mvua na michakato ya etching katika utengenezaji wa semiconductor.
2. Silicon carbudi kauri tube
- Upinzani wa joto la juu: Inaweza kufanya kazi katika mazingira ya joto la juu zaidi ya 1600 ° C kwa muda mrefu, yanafaa kwa mchakato wa joto la juu la semiconductor.
Upinzani bora wa kutu: sugu kwa asidi, alkali na aina mbalimbali za vimumunyisho vya kemikali, zinazofaa kwa mazingira magumu ya mchakato.
- Ugumu wa juu na upinzani wa kuvaa: kupinga mmomonyoko wa chembe na kuvaa kwa mitambo, kupanua maisha ya huduma.
- Conductivity ya juu ya mafuta na mgawo wa chini wa upanuzi wa joto: uendeshaji wa haraka wa joto na utulivu wa dimensional, kupunguza deformation au ngozi inayosababishwa na matatizo ya joto.

Kigezo cha bidhaa:

Kigezo cha tray ya kauri ya silicon carbide:

(Mali ya nyenzo)		(Kitengo)	(sic)
(Maudhui ya SiC)		(Wt)%	> 99
(Wastani wa saizi ya nafaka)		mikroni	4-10
(Uzito)		kg/dm3	>3.14
(Inaonekana porosity)		Vo1%	<0.5
(Ugumu wa Vickers)	HV 0.5	GPA	28
() Nguvu ya flexural (pointi tatu)	20ºC	MPa	450
(Nguvu ya kubana)	20ºC	MPa	3900
(Moduli ya Elastic)	20ºC	GPA	420
(Ugumu wa fracture)		MPa/m'%	3.5
(Uendeshaji wa joto)	20°C	W/(m*K)	160
(Upinzani)	20°C	Ohm.cm	106-108
(Mgawo wa upanuzi wa joto)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Kiwango cha juu cha joto cha kufanya kazi)		oºC	1700

Kigezo cha bomba la kauri la silicon carbide:

Vipengee	Kielezo
α-SIC	Dakika 99%.
Porosity inayoonekana	16% ya juu
Wingi Wingi	2.7g/cm3 dakika
Nguvu ya Kukunja Katika Joto la Juu	100 Mpa dakika
Mgawo wa Upanuzi wa Joto	K-1 4.7x10 -6
Mgawo wa Uendeshaji wa Joto (1400ºC)	24 W/mk
Max. Joto la Kufanya kazi	1650ºC

Maombi kuu:

1. Silicon carbudi kauri sahani
- Kukata na kung'arisha kaki: hutumika kama jukwaa la kuzaa ili kuhakikisha usahihi wa hali ya juu na uthabiti wakati wa kukata na kung'arisha.
- Mchakato wa Lithography: Kaki imewekwa kwenye mashine ya lithography ili kuhakikisha uwekaji sahihi wa hali ya juu wakati wa kukaribia.
- Ung'arisha Mitambo wa Kemikali (CMP) : hufanya kazi kama jukwaa la usaidizi kwa pedi za kung'arisha, kutoa shinikizo sawa na usambazaji wa joto.
2. Silicon carbudi kauri tube
- Bomba la tanuru la joto la juu: hutumika kwa vifaa vya joto la juu kama vile tanuru ya kueneza na tanuru ya oxidation kubeba kaki kwa matibabu ya mchakato wa joto la juu.
- Mchakato wa CVD/PVD: Kama mirija ya kuzaa kwenye chumba cha athari, inayostahimili joto la juu na gesi babuzi.
- Vifaa vya vifaa vya semiconductor: kwa kubadilishana joto, mabomba ya gesi, nk, ili kuboresha ufanisi wa usimamizi wa joto wa vifaa.
XKH inatoa huduma mbalimbali maalum kwa trei za kauri za silicon carbide, vikombe vya kufyonza na mirija ya kauri ya silikoni. Trei za kauri za silicon carbide na vikombe vya kunyonya, XKH inaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja wa ukubwa tofauti, maumbo na ukali wa uso, na kusaidia matibabu maalum ya mipako, kuongeza upinzani wa kuvaa na upinzani wa kutu; Kwa mirija ya kauri ya silicon carbide, XKH inaweza kubinafsisha aina mbalimbali za kipenyo cha ndani, kipenyo cha nje, urefu na muundo changamano (kama vile mirija yenye umbo au mirija ya vinyweleo), na kutoa mng'aro, mipako ya kuzuia oksidi na michakato mingine ya matibabu ya uso. XKH inahakikisha kuwa wateja wanaweza kutumia kikamilifu manufaa ya utendaji wa bidhaa za kauri za silicon carbide ili kukidhi mahitaji yanayohitajika ya uga za utengenezaji wa hali ya juu kama vile halvledare, led na photovoltaiki.