Silicon carbide kauri tray sucker silicon carbide kauri tube usambazaji joto joto sintering usindikaji wa kawaida

Silicon carbide kauri tray sucker silicon carbide kauri tube usambazaji joto joto sintering usindikaji wa picha picha

Maelezo mafupi:

Silicon carbide kauri tray na silicon carbide kauri ni vifaa vya juu vya utendaji wa juu katika utengenezaji wa semiconductor. Tray ya kauri ya carbide ya Silicon hutumiwa hasa katika usindikaji wa wafer na kuzaa, ili kuhakikisha utulivu wa mchakato wa usahihi wa hali ya juu; Mizizi ya kauri ya carbide ya Silicon hutumiwa sana katika mirija ya tanuru ya joto ya juu, zilizopo za tanuru za utengamano na hali zingine kuhimili mazingira yaliyokithiri na kudumisha usimamizi bora wa mafuta. Zote mbili ni msingi wa carbide ya silicon kama nyenzo ya msingi, ambayo imekuwa sehemu muhimu katika tasnia ya semiconductor kwa sababu ya mali bora ya mwili na kemikali.

Tuma barua pepe kwetu

Maelezo ya bidhaa

Vitambulisho vya bidhaa

Vipengele kuu:

1. Silicon carbide tray ya kauri
- Ugumu wa hali ya juu na upinzani wa kuvaa: ugumu uko karibu na almasi, na unaweza kuhimili kuvaa kwa mitambo katika usindikaji wa muda mrefu.
- Uboreshaji wa juu wa mafuta na mgawo wa chini wa upanuzi wa mafuta: Uboreshaji wa joto haraka na utulivu wa hali ya juu, epuka uharibifu unaosababishwa na mkazo wa mafuta.
- Flatness ya juu na kumaliza kwa uso: uso wa uso ni juu ya kiwango cha micron, kuhakikisha mawasiliano kamili kati ya kafe na diski, kupunguza uchafu na uharibifu.
Uimara wa kemikali: Upinzani wenye nguvu wa kutu, unaofaa kwa kusafisha mvua na michakato ya kuweka katika utengenezaji wa semiconductor.
2. Silicon carbide kauri tube
- Upinzani wa joto la juu: Inaweza kufanya kazi katika mazingira ya joto ya juu zaidi ya 1600 ° C kwa muda mrefu, yanafaa kwa mchakato wa joto wa semiconductor.
Upinzani bora wa kutu: sugu kwa asidi, alkali na aina ya vimumunyisho vya kemikali, vinafaa kwa mazingira magumu ya mchakato.
- Ugumu wa hali ya juu na upinzani wa kuvaa: kupinga mmomonyoko wa chembe na kuvaa kwa mitambo, kupanua maisha ya huduma.
- Uboreshaji wa juu wa mafuta na mgawo wa chini wa upanuzi wa mafuta: uzalishaji wa haraka wa joto na utulivu wa hali ya juu, kupunguza upungufu au ngozi inayosababishwa na mkazo wa mafuta.

Param ya Bidhaa:

Silicon carbide kauri tray parameter:

(Mali ya nyenzo)		(Kitengo)	(SSIC)
(SIC Yaliyomo)		(Wt)%	> 99
(Wastani wa ukubwa wa nafaka)		micron	4-10
(Wiani)		Kg/DM3	> 3.14
(Dhahiri porosity)		VO1%	<0.5
(Ugumu wa Vickers)	HV 0.5	GPA	28
() Nguvu ya kubadilika (alama tatu)	20ºC	MPA	450
(Nguvu ya kuvutia)	20ºC	MPA	3900
(Modulus ya Elastic)	20ºC	GPA	420
(Ugumu wa Fracture)		MPA/M '%	3.5
(Uboreshaji wa mafuta)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Resisition)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Mgawo wa upanuzi wa mafuta)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Joto la juu la kufanya kazi)		OºC	1700

Silicon carbide kauri ya kauri ya kauri:

Vitu	Kielelezo
α-sic	99% min
Uwezo dhahiri	16% max
Wiani wa wingi	2.7g/cm3 min
Kuweka nguvu kwa joto la juu	100 MPA min
Mgawo wa upanuzi wa mafuta	K -1 4.7x10 -6
Mgawo wa ubora wa mafuta (1400ºC)	24 w/mk
Max. Joto la kufanya kazi	1650ºC

Maombi kuu:

1. Silicon carbide sahani ya kauri
- Kukata na polishing: hutumika kama jukwaa la kuzaa kuhakikisha usahihi wa hali ya juu na utulivu wakati wa kukata na polishing.
- Mchakato wa Lithography: Mchanganyiko umewekwa kwenye mashine ya lithography ili kuhakikisha msimamo wa hali ya juu wakati wa mfiduo.
- Chemical Mechanical Polishing (CMP): hufanya kama jukwaa la msaada wa pedi za polishing, kutoa shinikizo sawa na usambazaji wa joto.
2. Silicon carbide kauri tube
- Kiwango cha juu cha tanuru ya joto: Inatumika kwa vifaa vya joto vya juu kama tanuru ya utengamano na tanuru ya oksidi kubeba mikate kwa matibabu ya mchakato wa joto.
- Mchakato wa CVD/PVD: Kama bomba la kuzaa kwenye chumba cha athari, sugu kwa joto la juu na gesi zenye kutu.
- Vifaa vya vifaa vya semiconductor: Kwa kubadilishana joto, bomba la gesi, nk, kuboresha ufanisi wa usimamizi wa mafuta.
XKH inatoa huduma kamili ya huduma za kawaida za tray za kauri za carbide, vikombe vya suction na zilizopo za kauri za carbide. Silicon carbide kauri za kauri na vikombe vya kunyonya, XKH inaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja ya ukubwa tofauti, maumbo na ukali wa uso, na kusaidia matibabu maalum ya mipako, kuongeza upinzani wa kuvaa na upinzani wa kutu; Kwa mirija ya kauri ya carbide ya silicon, XKH inaweza kubadilisha aina ya kipenyo cha ndani, kipenyo cha nje, urefu na muundo tata (kama bomba la umbo au bomba la porous), na kutoa polishing, mipako ya anti-oxidation na michakato mingine ya matibabu ya uso. XKH inahakikisha kuwa wateja wanaweza kuchukua faida kamili ya faida za utendaji wa bidhaa za kauri za silicon ili kukidhi mahitaji ya mahitaji ya uwanja wa utengenezaji wa hali ya juu kama vile semiconductors, LEDs na Photovoltaics.