Kifyonza cha trei ya kauri ya kauri ya siliconi Bomba la kauri la kauri la siliconi hutoa usindikaji maalum wa joto la juu wa uchomaji

Kifyonza cha trei ya kauri ya kauri ya siliconi Bomba la kauri la kauri la siliconi hutoa usindikaji maalum wa joto la juu wa uchakataji maalum Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

Trei ya kauri ya kabaridi ya silikoni na mirija ya kauri ya kabaridi ya silikoni ni nyenzo muhimu sana zenye utendaji wa hali ya juu katika utengenezaji wa nusu-sekunde. Trei ya kauri ya kabaridi ya silikoni hutumika zaidi katika usindikaji wa wafer, isiyobadilika na yenye kuzaa, ili kuhakikisha uthabiti wa mchakato wa usahihi wa hali ya juu; Mirija ya kauri ya kabaridi ya silikoni hutumika sana katika mirija ya tanuru yenye joto la juu, mirija ya tanuru ya uenezaji na hali zingine ili kuhimili mazingira magumu na kudumisha usimamizi mzuri wa joto. Zote mbili zinategemea kabaridi ya silikoni kama nyenzo kuu, ambayo imekuwa sehemu muhimu katika tasnia ya nusu-sekunde kutokana na sifa zake bora za kimwili na kemikali.

Tutumie barua pepe

Vipengele

Vipengele vikuu:

1. Trei ya kauri ya kaboni ya silikoni
- Ugumu wa hali ya juu na upinzani wa uchakavu: ugumu uko karibu na almasi, na unaweza kuhimili uchakavu wa mitambo katika usindikaji wa wafer kwa muda mrefu.
- Upitishaji joto wa juu na mgawo mdogo wa upanuzi wa joto: utengamano wa joto haraka na uthabiti wa vipimo, kuepuka ubadilikaji unaosababishwa na msongo wa joto.
- Ubapa wa juu na umaliziaji wa uso: Ubapa wa uso ni hadi kiwango cha mikroni, kuhakikisha mguso kamili kati ya wafer na diski, kupunguza uchafuzi na uharibifu.
Uthabiti wa kemikali: Upinzani mkubwa wa kutu, unaofaa kwa ajili ya kusafisha kwa mvua na michakato ya kung'oa katika utengenezaji wa nusu-semiconductor.
2. Mrija wa kauri wa kabonidi ya silikoni
- Upinzani wa halijoto ya juu: Inaweza kufanya kazi katika mazingira ya halijoto ya juu zaidi ya 1600°C kwa muda mrefu, inafaa kwa mchakato wa halijoto ya juu ya nusu semiconductor.
Upinzani bora wa kutu: sugu kwa asidi, alkali na aina mbalimbali za miyeyusho ya kemikali, inayofaa kwa mazingira magumu ya mchakato.
- Ugumu wa hali ya juu na upinzani wa uchakavu: pinga mmomonyoko wa chembe na uchakavu wa mitambo, ongeza muda wa huduma.
- Upitishaji joto wa juu na mgawo mdogo wa upanuzi wa joto: upitishaji joto haraka na utulivu wa vipimo, kupunguza ubadilikaji au nyufa unaosababishwa na msongo wa joto.

Kigezo cha Bidhaa：

Kigezo cha trei ya kauri ya kauri ya silicon:

(Mali ya nyenzo)		(Kitengo)	(mdogo)
(Yaliyomo ya SiC)		(Uzito)%	>99
(Ukubwa wa wastani wa nafaka)		mikroni	4-10
(Uzito)		kilo/dm3	>3.14
(Unyevu unaoonekana)		Vo1%	<0.5
(Ugumu wa Vickers)	HV 0.5	GPa	28
() Nguvu ya kunyumbulika (pointi tatu)	20ºC	MPa	450
(Nguvu ya kubana)	20ºC	MPa	3900
(Moduli ya Elastic)	20ºC	GPa	420
(Ugumu wa kuvunjika)		MPa/m'%	3.5
(Upitishaji joto)	20°ºC	W/(m*K)	160
(Ustahimilivu)	20°ºC	Ohm.cm	106-108
(Mgawo wa upanuzi wa joto)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Kiwango cha juu cha halijoto ya uendeshaji)		oºC	1700

Kigezo cha bomba la kauri la kauri la silicon:

Vitu	Kielezo
α-SIC	Dakika 99%
Unyevu Unaoonekana	Upeo wa 16%
Uzito wa Wingi	2.7g/cm3 dakika
Nguvu ya Kupinda kwenye Joto la Juu	Dakika 100 za MPa
Mgawo wa Upanuzi wa Joto	K-1 4.7x10 -6
Mgawo wa Upitishaji wa Joto (1400ºC)	24 W/mk
Joto la Juu la Kufanya Kazi	1650ºC

Matumizi makuu:

1. Sahani ya kauri ya silicon carbide
- Kukata na kung'arisha kaki: hutumika kama jukwaa la kubebea ili kuhakikisha usahihi wa hali ya juu na uthabiti wakati wa kukata na kung'arisha.
- Mchakato wa Lithografia: Wafer imewekwa kwenye mashine ya lithografia ili kuhakikisha uwekaji sahihi wa hali ya juu wakati wa mfiduo.
- Kung'arisha Mitambo ya Kemikali (CMP): hufanya kazi kama jukwaa la usaidizi wa pedi za kung'arisha, kutoa shinikizo sawa na usambazaji wa joto.
2. Mrija wa kauri wa kabonidi ya silikoni
- Bomba la tanuru lenye joto la juu: hutumika kwa vifaa vya halijoto ya juu kama vile tanuru ya uenezaji na tanuru ya oksidi kubeba wafers kwa ajili ya matibabu ya mchakato wa halijoto ya juu.
- Mchakato wa CVD/PVD: Kama bomba la kubebea mizigo kwenye chumba cha mmenyuko, linalostahimili joto kali na gesi babuzi.
- Vifaa vya semiconductor: kwa vibadilisha joto, mabomba ya gesi, n.k., ili kuboresha ufanisi wa usimamizi wa joto wa vifaa.
XKH inatoa huduma mbalimbali maalum kwa trei za kauri za silicon carbide, vikombe vya kufyonza na mirija ya kauri ya silicon carbide. Trei za kauri za silicon carbide na vikombe vya kufyonza, XKH inaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja wa ukubwa tofauti, maumbo na ukali wa uso, na kusaidia matibabu maalum ya mipako, kuongeza upinzani wa uchakavu na upinzani wa kutu; Kwa mirija ya kauri ya silicon carbide, XKH inaweza kubinafsisha aina mbalimbali za kipenyo cha ndani, kipenyo cha nje, urefu na muundo tata (kama vile mirija yenye umbo au mirija yenye vinyweleo), na kutoa ung'arishaji, mipako ya kuzuia oksidi na michakato mingine ya matibabu ya uso. XKH inahakikisha kwamba wateja wanaweza kutumia kikamilifu faida za utendaji wa bidhaa za kauri za silicon carbide ili kukidhi mahitaji yanayohitajika ya nyanja za utengenezaji wa hali ya juu kama vile semiconductors, LEDs na photovoltaics.