Kifaa cha Kukata Kabidi cha Silikoni (Kifaa cha Kukata Kabidi cha SiC)

Paddle ya Silikoni ya Cantilever (Paddle ya SiC Cantilever) Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

Tutumie barua pepe

Vipengele

Mchoro wa Kina

Muhtasari wa Bidhaa

Kadi ya silicon carbide cantilever, iliyotengenezwa kutoka kwa silicon carbide yenye utendaji wa hali ya juu (RBSiC), ni sehemu muhimu inayotumika katika mifumo ya upakiaji na utunzaji wa wafer kwa matumizi ya semiconductor na photovoltaic.
Ikilinganishwa na makasia ya kitamaduni ya quartz au grafiti, makasia ya SiC cantilever hutoa nguvu bora ya kiufundi, ugumu wa juu, upanuzi mdogo wa joto, na upinzani bora wa kutu. Hudumisha uthabiti bora wa kimuundo chini ya halijoto ya juu, hukidhi mahitaji magumu ya ukubwa mkubwa wa wafer, maisha marefu ya huduma, na uchafuzi mdogo sana.

Kwa maendeleo endelevu ya michakato ya nusu-semiconductor kuelekea kipenyo kikubwa cha wafer, kiwango cha juu cha upitishaji, na mazingira safi ya usindikaji, makasia ya SiC yamebadilisha vifaa vya kawaida hatua kwa hatua, na kuwa chaguo linalopendelewa kwa tanuru za usambazaji, LPCVD, na vifaa vinavyohusiana na joto la juu.

Vipengele vya Bidhaa

Utulivu Bora wa Joto la Juu
- Hufanya kazi kwa uaminifu katika 1000–1300℃ bila mabadiliko.
- Kiwango cha juu cha joto la huduma hadi 1380℃.
Uwezo Mkubwa wa Kubeba Mzigo
- Nguvu ya kupinda hadi MPa 250–280, juu zaidi kuliko makasia ya quartz.
- Uwezo wa kushughulikia wafers zenye kipenyo kikubwa (milimita 300 na zaidi).
Muda Mrefu wa Huduma na Matengenezo Madogo
- Mgawo wa upanuzi wa joto la chini (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), unaoendana vyema na nyenzo za mipako ya LPCVD.
- Hupunguza nyufa na maganda yanayosababishwa na msongo wa mawazo, na hivyo kuongeza muda wa kusafisha na matengenezo kwa kiasi kikubwa.
Upinzani wa Kutu na Usafi
- Upinzani bora kwa asidi na alkali.
- Muundo mdogo mnene wenye vinyweleo vilivyo wazi <0.1%, hivyo kupunguza uzalishaji wa chembe na kutolewa kwa uchafu.
Ubunifu Unaoendana na Otomatiki
- Jiometri thabiti ya sehemu mtambuka yenye usahihi wa hali ya juu.
- Huunganishwa bila mshono na mifumo ya upakiaji na upakuaji wa wafer ya roboti, na kuwezesha uzalishaji otomatiki kikamilifu.

Sifa za Kimwili na Kemikali

Bidhaa	Kitengo	Data
Halijoto ya Juu ya Huduma	℃	1380
Uzito	g/cm³	3.04 – 3.08
Uwazi wa Porosity	%	< 0.1
Nguvu ya Kupinda	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Moduli ya Kunyumbulika	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Uendeshaji wa joto	W/m·K	45 (1200℃)
Mgawo wa Upanuzi wa Joto	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Ugumu wa Vickers	HV2	≥ 2100
Upinzani wa Asidi/Alkali	-	Bora kabisa

Urefu wa kawaida:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Vipimo maalum vinapatikana kwa ombi

Maombi

Sekta ya Semiconductor
- LPCVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali kwa Shinikizo la Chini)
- Michakato ya uenezaji (fosforasi, boroni, n.k.)
- Oksidasheni ya joto
Sekta ya Photovoltaic
- Usambazaji na mipako ya wafer ya polisilicon na monocrystalline
- Kufunga na kutuliza kwa joto la juu
Sehemu Nyingine
- Mazingira yenye babuzi yenye joto la juu
- Mifumo ya utunzaji wa kaki kwa usahihi inayohitaji maisha marefu ya huduma na uchafuzi mdogo

Manufaa ya Wateja

Gharama za Uendeshaji Zilizopunguzwa– Muda mrefu zaidi wa matumizi ukilinganisha na makasia ya quartz, hivyo kupunguza muda wa kutofanya kazi na masafa ya uingizwaji.
Mavuno ya Juu– Uchafuzi mdogo sana huhakikisha usafi wa uso wa wafer na hupunguza viwango vya kasoro.
Uthibitisho wa Wakati Ujao- Inaendana na saizi kubwa za wafer na michakato ya nusu-semiconductor ya kizazi kijacho.
Uzalishaji Ulioboreshwa- Inaendana kikamilifu na mifumo ya kiotomatiki ya roboti, inayounga mkono utengenezaji wa ujazo mkubwa.

Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara - Paddle ya Silicon Carbide Cantilever

Q1: Kadi ya silicon carbide cantilever ni nini?
J: Ni sehemu ya usaidizi na utunzaji wa wafer iliyotengenezwa kwa kabidi ya silikoni iliyounganishwa na mmenyuko (RBSiC). Inatumika sana katika tanuri za usambazaji, LPCVD, na michakato mingine ya semiconductor na photovoltaic ya halijoto ya juu.

Swali la 2: Kwa nini uchague SiC kuliko quartz paddles?
A: Ikilinganishwa na makasia ya quartz, makasia ya SiC hutoa:

Nguvu ya juu ya mitambo na uwezo wa kubeba mzigo
Utulivu bora wa joto katika halijoto hadi 1380℃
Maisha marefu zaidi ya huduma na mizunguko ya matengenezo iliyopunguzwa
Kupunguza uzalishaji wa chembe na hatari ya uchafuzi
Utangamano na saizi kubwa za wafer (300 mm na zaidi)

Q3: Kadi ya SiC cantilever inaweza kuhimili ukubwa gani wa wafer?
A: Paddle za kawaida zinapatikana kwa mifumo ya tanuru ya 2378 mm, 2550 mm, na 2660 mm. Vipimo vilivyobinafsishwa vinapatikana ili kusaidia wafers hadi 300 mm na zaidi.

Kuhusu Sisi

XKH inataalamu katika maendeleo ya teknolojia ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum za macho na vifaa vipya vya fuwele. Bidhaa zetu hutoa vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu za mkononi, Kauri, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers za fuwele za semiconductor. Kwa utaalamu stadi na vifaa vya kisasa, tunafanikiwa katika usindikaji wa bidhaa usio wa kawaida, tukilenga kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya juu ya vifaa vya optoelectronic.