SiC kauri chuck trei Vikombe vya kufyonza vya kauri utayarishaji wa usahihi umeboreshwa

Tray ya kauri ya SiC Vikombe vya kufyonza vya kauri uchakataji uliobinafsishwa uliobinafsishwa

Maelezo Fupi:

Silicon CARBIDE sinia sucker ni chaguo bora kwa ajili ya utengenezaji wa semiconductor kutokana na ugumu wake wa juu, conductivity ya juu ya mafuta na utulivu bora wa kemikali. Ulaini wake wa juu na kumaliza uso huhakikisha mgusano kamili kati ya kaki na kinyonyaji, kupunguza uchafuzi na uharibifu; Joto la juu na upinzani wa kutu huifanya kuwa yanafaa kwa mazingira magumu ya mchakato; Wakati huo huo, muundo mwepesi na sifa za maisha marefu hupunguza gharama za uzalishaji na ni sehemu muhimu katika ukataji wa kaki, ung'arishaji, lithography na michakato mingine.

Tutumie barua pepe

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Tabia za nyenzo:

1.Ugumu wa juu: ugumu wa Mohs wa silicon carbudi ni 9.2-9.5, pili baada ya almasi, na upinzani mkali wa kuvaa.
2. Uendeshaji wa juu wa mafuta: conductivity ya mafuta ya silicon carbide ni ya juu kama 120-200 W/m·K, ambayo inaweza kutoa joto haraka na inafaa kwa mazingira ya joto la juu.
3. Mgawo wa upanuzi wa kiwango cha chini cha mafuta: mgawo wa upanuzi wa mafuta ya silicon carbide uko chini (4.0-4.5×10⁻⁶/K), bado unaweza kudumisha uthabiti wa kipenyo katika halijoto ya juu.
4. Uthabiti wa kemikali: asidi ya silicon ya CARBIDE na upinzani wa kutu ya alkali, yanafaa kwa matumizi katika mazingira ya kemikali yenye babuzi.
5. Nguvu ya juu ya mitambo: carbudi ya silicon ina nguvu ya juu ya kupinda na nguvu ya kukandamiza, na inaweza kuhimili mkazo mkubwa wa mitambo.

Vipengele:

1.Katika tasnia ya semiconductor, kaki nyembamba sana zinahitajika kuwekwa kwenye kikombe cha kufyonza utupu, ufyonzaji wa utupu hutumiwa kurekebisha kaki, na mchakato wa kung'arisha, kukonda, kung'aa, kusafisha na kukata hufanywa kwenye kaki.
2.Silicon CARBIDE sucker ina conductivity nzuri ya mafuta, inaweza ufanisi kufupisha wakati wax na wax, kuboresha ufanisi wa uzalishaji.
3.Silicon carbide vacuum sucker pia ina asidi nzuri na upinzani wa kutu ya alkali.
4.Ikilinganishwa na sahani ya jadi ya carrier corundum, fupisha kupakia na kupakua inapokanzwa na wakati wa baridi, kuboresha ufanisi wa kazi; Wakati huo huo, inaweza kupunguza kuvaa kati ya sahani za juu na za chini, kudumisha usahihi mzuri wa ndege, na kupanua maisha ya huduma kwa karibu 40%.
5.Uwiano wa nyenzo ni ndogo, uzani mwepesi. Ni rahisi kwa waendeshaji kubeba pallets, kupunguza hatari ya uharibifu wa mgongano unaosababishwa na shida za usafiri kwa karibu 20%.
6.Ukubwa: upeo wa kipenyo 640mm; Flatness: 3um au chini

Sehemu ya maombi:

1. Utengenezaji wa semiconductor
●Uchakataji wa kaki:
Kwa urekebishaji wa kaki katika upigaji picha, etching, utuaji wa filamu nyembamba na michakato mingine, kuhakikisha usahihi wa juu na uthabiti wa mchakato. Joto lake la juu na upinzani wa kutu unafaa kwa mazingira magumu ya utengenezaji wa semiconductor.
● Ukuaji wa Epitaxial:
Katika ukuaji wa SiC au GaN epitaxial, kama kibeba joto na kurekebisha kaki, kuhakikisha usawa wa halijoto na ubora wa fuwele kwenye viwango vya juu vya joto, kuboresha utendakazi wa kifaa.
2. Vifaa vya umeme vya picha
● Utengenezaji wa LED:
Hutumika kurekebisha yakuti sapphire au SiC substrate, na kama mtoa huduma wa kupasha joto katika mchakato wa MOCVD, ili kuhakikisha usawa wa ukuaji wa epitaxial, kuboresha ufanisi na ubora wa mwanga wa LED.
● Diodi ya laser:
Kama fixture high-usahihi, fixing na inapokanzwa substrate kuhakikisha mchakato joto utulivu, kuboresha pato nguvu na kuegemea ya diode laser.
3. Usahihi machining
●Uchakataji wa vipengele vya macho:
Inatumika kurekebisha vipengee vya usahihi kama vile lenzi za macho na vichungi ili kuhakikisha usahihi wa juu na uchafuzi wa chini wakati wa kuchakata, na inafaa kwa uchakataji wa hali ya juu.
●Uchakataji wa kauri:
Kama kifaa chenye uthabiti wa hali ya juu, kinafaa kwa uchakataji kwa usahihi wa nyenzo za kauri ili kuhakikisha usahihi na uthabiti chini ya halijoto ya juu na mazingira ya babuzi.
4. Majaribio ya kisayansi
●Jaribio la halijoto ya juu:
Kama kifaa cha kurekebisha sampuli katika mazingira ya halijoto ya juu, kinaauni majaribio ya halijoto ya juu zaidi ya 1600°C ili kuhakikisha usawa wa halijoto na uthabiti wa sampuli.
●Jaribio la utupu:
Kama sampuli fixing na carrier inapokanzwa katika mazingira utupu, ili kuhakikisha usahihi na marudio ya majaribio, yanafaa kwa ajili ya mipako utupu na matibabu ya joto.

Maelezo ya kiufundi:

(Mali ya nyenzo)		(Kitengo)	(sic)
(Maudhui ya SiC)		(Wt)%	> 99
(Wastani wa saizi ya nafaka)		mikroni	4-10
(Uzito)		kg/dm3	>3.14
(Inaonekana porosity)		Vo1%	<0.5
(Ugumu wa Vickers)	HV 0.5	GPA	28
* (Nguvu ya Flexural) * (pointi tatu)	20ºC	MPa	450
(Nguvu ya kubana)	20ºC	MPa	3900
(Moduli ya Elastic)	20ºC	GPA	420
(Ugumu wa fracture)		MPa/m'%	3.5
(Uendeshaji wa joto)	20°C	*W/(mK)**	160
(Upinzani)	20°C	Ohm.cm	106-108
(Mgawo wa upanuzi wa joto)	a(RT...80ºC)**	*K-110-6**	4.3
(Kiwango cha juu cha joto cha kufanya kazi)		oºC	1700

Kwa miaka mingi ya kusanyiko la kiufundi na tajriba ya tasnia, XKH ina uwezo wa kurekebisha vigezo muhimu kama vile saizi, mbinu ya kuongeza joto na muundo wa utupu wa tangazo la chuck kulingana na mahitaji maalum ya mteja, kuhakikisha kuwa bidhaa inachukuliwa kikamilifu kulingana na mchakato wa mteja. Chuki za kauri za silikoni za SiC zimekuwa sehemu muhimu katika usindikaji wa kaki, ukuaji wa epitaxial na michakato mingine muhimu kwa sababu ya upitishaji wao bora wa mafuta, uthabiti wa hali ya juu na uthabiti wa kemikali. Hasa katika utengenezaji wa vifaa vya kizazi cha tatu vya semiconductor kama vile SiC na GaN, mahitaji ya chucks za kauri za silicon carbide yanaendelea kukua. Katika siku zijazo, pamoja na maendeleo ya haraka ya 5G, magari ya umeme, akili ya bandia na teknolojia nyingine, matarajio ya matumizi ya chucks za kauri za silicon carbudi katika sekta ya semiconductor itakuwa pana.