Utumizi wa substrate ya kaboni ya silicon ya conductive na nusu-maboksi

p1

Substrate ya silicon ya carbide imegawanywa katika aina ya nusu ya kuhami na aina ya conductive. Kwa sasa, vipimo vya kawaida vya bidhaa za nusu-maboksi ya silicon carbudi ni inchi 4. Katika soko la conductive silicon carbide, vipimo vya sasa vya bidhaa za substrate kuu ni inchi 6.

Kwa sababu ya programu za mkondo wa chini katika uga wa RF, substrates za SiC zilizowekwa nusu na nyenzo za epitaxial zinakabiliwa na udhibiti wa usafirishaji na Idara ya Biashara ya Marekani. SiC yenye maboksi nusu kama substrate ndiyo nyenzo inayopendelewa kwa GaN heteroepitaxy na ina matarajio muhimu ya matumizi katika uwanja wa microwave. Ikilinganishwa na fuwele isiyolingana ya yakuti 14% na Si 16.9%, kutolingana kwa fuwele kwa nyenzo za SiC na GaN ni 3.4% pekee. Sambamba na mdundo wa hali ya juu wa mafuta wa SiC, LED yenye ufanisi wa juu wa nishati na vifaa vya masafa ya juu vya GaN na vifaa vya microwave vyenye nguvu nyingi vilivyotayarishwa nayo vina manufaa makubwa katika rada, vifaa vya microwave vyenye nguvu nyingi na mifumo ya mawasiliano ya 5G.

Utafiti na uundaji wa sehemu ndogo ya SiC iliyo na maboksi ya nusu daima imekuwa lengo la utafiti na uundaji wa substrate ya kioo moja ya SiC. Kuna shida mbili kuu katika kukuza nyenzo za SiC zenye maboksi ya nusu:

1) Punguza uchafu wa wafadhili wa N unaoletwa na crucible ya grafiti, adsorption ya insulation ya mafuta na doping katika poda;

2) Wakati wa kuhakikisha ubora na sifa za umeme za fuwele, kituo cha kiwango cha kina kinaletwa ili kulipa fidia uchafu wa kiwango cha kina na shughuli za umeme.

Kwa sasa, watengenezaji walio na uwezo wa uzalishaji wa SiC isiyopitisha maboksi ni zaidi ya SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.

p2

Kioo cha conductive cha SiC kinapatikana kwa kuingiza nitrojeni kwenye anga inayokua. Conductive silicon substrate CARBIDE ni hasa kutumika katika utengenezaji wa vifaa vya nguvu, silicon CARBIDE vifaa nguvu na voltage ya juu, juu ya sasa, joto la juu, frequency ya juu, hasara ya chini na faida nyingine ya kipekee, itaboresha sana matumizi yaliyopo ya silicon msingi vifaa nishati nishati. ufanisi wa ubadilishaji, una athari kubwa na ya mbali kwenye uwanja wa ubadilishaji wa nishati bora. Maeneo makuu ya maombi ni magari ya umeme/rundo la kuchaji, nishati mpya ya photovoltaic, usafiri wa reli, gridi mahiri na kadhalika. Kwa sababu chini ya bidhaa za conductive ni vifaa vya nguvu katika magari ya umeme, photovoltaic na maeneo mengine, matarajio ya maombi ni pana, na wazalishaji ni wengi zaidi.

p3

Silicon CARBIDE kioo aina: muundo wa kawaida wa bora 4H CARBIDE silicon fuwele inaweza kugawanywa katika makundi mawili, moja ni ya ujazo silicon CARBIDE kioo aina ya muundo sphalerite, inayojulikana kama 3C-SiC au β-SiC, na nyingine ni hexagonal. au muundo wa almasi wa muundo wa kipindi kikubwa, ambayo ni ya kawaida ya 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, nk, inayojulikana kwa pamoja kama α-SiC. 3C-SiC ina faida ya kupinga juu katika vifaa vya utengenezaji. Hata hivyo, kutolingana kwa juu kati ya viambatisho vya kimiani vya Si na SiC na mgawo wa upanuzi wa joto unaweza kusababisha idadi kubwa ya kasoro katika safu ya epitaxial ya 3C-SiC. 4H-SiC ina uwezo mkubwa katika utengenezaji wa MOSFET, kwa sababu ukuaji wake wa fuwele na michakato ya ukuaji wa safu ya epitaxial ni bora zaidi, na kwa suala la uhamaji wa elektroni, 4H-SiC ni ya juu kuliko 3C-SiC na 6H-SiC, ikitoa sifa bora za microwave kwa 4H. -SiC MOSFETs.

Ikiwa kuna ukiukaji, futa anwani


Muda wa kutuma: Jul-16-2024