Kaki za Quartz za Usafi wa hali ya juu za Semicondukta, Programu za Macho za Picha 2″4″6″8″12″
Mchoro wa kina
Muhtasari wa Kioo cha Quartz
Kaki za Quartz ni uti wa mgongo wa vifaa vingi vya kisasa vinavyoendesha ulimwengu wa kisasa wa kidijitali. Kuanzia urambazaji katika simu yako mahiri hadi uti wa mgongo wa vituo vya msingi vya 5G, quartz hutoa utulivu, usafi na usahihi unaohitajika katika utendakazi wa hali ya juu wa vifaa vya elektroniki na picha. Iwe inasaidia sakiti inayoweza kunyumbulika, kuwezesha vihisi vya MEMS, au kuunda msingi wa kompyuta ya wingi, sifa za kipekee za quartz huifanya iwe muhimu sana katika tasnia.
"Silika Iliyounganishwa" au "Fused Quartz" ambayo ni awamu ya amofasi ya quartz (SiO2). Ikilinganishwa na kioo cha borosilicate, silika iliyounganishwa haina viongeza; kwa hivyo iko katika hali yake safi, SiO2. Silika iliyounganishwa ina maambukizi ya juu zaidi katika wigo wa infrared na ultraviolet ikilinganishwa na kioo cha kawaida. Silika iliyounganishwa hutolewa kwa kuyeyuka na kuimarisha tena ultrapure SiO2. Silika iliyounganishwa kwa upande mwingine imetengenezwa kutoka kwa vianzilishi vya kemikali vilivyo na silicon nyingi kama vile SiCl4 ambayo hutiwa gesi na kisha kuoksidishwa katika angahewa ya H2 + O2. Vumbi la SiO2 linaloundwa katika kesi hii linaunganishwa kwa silika kwenye substrate. Vitalu vya silika vilivyounganishwa hukatwa kwenye kaki baada ya hapo kaki hatimaye hung'olewa.
Sifa Muhimu na Manufaa ya Kaki ya Kioo cha Quartz
-
Usafi wa Hali ya Juu (≥99.99% SiO2)
Inafaa kwa semikondukta safi zaidi na michakato ya picha ambapo uchafuzi wa nyenzo lazima upunguzwe. -
Safu pana ya Uendeshaji wa Joto
Hudumisha uadilifu wa muundo kutoka kwa halijoto ya cryogenic hadi zaidi ya 1100°C bila kupindisha au uharibifu. -
Usambazaji bora wa UV na IR
Hutoa uangavu bora wa macho kutoka kwa mionzi ya urujuanimno ya kina (DUV) kupitia karibu-infrared (NIR), ikisaidia utumizi wa usahihi wa macho. -
Mgawo wa Chini wa Upanuzi wa Joto
Huongeza uthabiti wa kipenyo chini ya mabadiliko ya halijoto, kupunguza msongo wa mawazo na kuboresha utegemezi wa mchakato. -
Upinzani wa Juu wa Kemikali
Ajizi kwa asidi nyingi, alkali, na vimumunyisho—kuifanya ifaane vyema na mazingira yenye kemikali kali. -
Kubadilika kwa Uso Kumaliza
Inapatikana na faini zenye laini zaidi, za upande mmoja au zilizong'aa za pande mbili, zinazooana na upigaji picha na mahitaji ya MEMS.
Mchakato wa Utengenezaji wa Kaki ya Kioo cha Quartz
Vifurushi vya quartz vilivyounganishwa hutolewa kupitia safu ya hatua zilizodhibitiwa na sahihi:
-
Uteuzi wa Mali Ghafi
Uteuzi wa quartz asilia ya hali ya juu au vyanzo vya SiO₂ vilivyotengenezwa. -
Kuyeyuka na Fusion
Quartz huyeyuka kwa ~ 2000°C katika tanuu za umeme chini ya angahewa iliyodhibitiwa ili kuondoa ujumuishaji na Bubbles. -
Kutengeneza Block
Silika iliyoyeyuka hupozwa kwenye vitalu au ingots imara. -
Kukata Kaki
Almasi ya usahihi au misumeno ya waya hutumiwa kukata ingo na kuwa matupu ya kaki. -
Lapping & polishing
Nyuso zote mbili zimebandikwa na kung'arishwa ili kukidhi vipimo kamili vya macho, unene na ukali. -
Kusafisha & Ukaguzi
Kaki husafishwa katika vyumba vya usafi vya ISO Class 100/1000 na kukaguliwa kwa uangalifu ili kubaini kasoro na ulinganifu wa kipenyo.
Mali ya kaki ya Kioo cha Quartz
| spec | kitengo | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Kipenyo / saizi (au mraba) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Uvumilivu (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Unene | mm | 0.10 au zaidi | 0.30 au zaidi | 0.40 au zaidi | 0.50 au zaidi | 0.50 au zaidi |
| Gorofa ya kumbukumbu ya msingi | mm | 32.5 | 57.5 | Nusu-notch | Nusu-notch | Nusu-notch |
| LTV (5mm×5mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | < 5 | < 5 |
| Upinde | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) <0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Mzunguko wa makali | mm | Inatii SEMI M1.2 Kawaida / rejelea IEC62276 | ||||
| Aina ya Uso | Upande Mmoja Uliong'olewa / Pande Mbili Zilizong'olewa | |||||
| Upande uliopozwa Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Vigezo vya Upande wa Nyuma | μm | jumla 0.2-0.7 au umeboreshwa | ||||
Quartz dhidi ya Nyenzo Zingine za Uwazi
| Mali | Kioo cha Quartz | Kioo cha Borosilicate | Sapphire | Kioo cha Kawaida |
|---|---|---|---|---|
| Kiwango cha Juu cha Uendeshaji | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Usambazaji wa UV | Bora (JGS1) | Maskini | Nzuri | Maskini sana |
| Upinzani wa Kemikali | Bora kabisa | Wastani | Bora kabisa | Maskini |
| Usafi | Juu sana | Chini hadi wastani | Juu | Chini |
| Upanuzi wa joto | Chini sana | Wastani | Chini | Juu |
| Gharama | Wastani hadi juu | Chini | Juu | Chini sana |
Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara kuhusu Kaki ya Kioo cha Quartz
Q1: Kuna tofauti gani kati ya quartz iliyounganishwa na silika iliyounganishwa?
Ingawa zote mbili ni aina za amofasi za SiO₂, quartz iliyounganishwa kwa kawaida hutoka kwa vyanzo vya asili vya quartz, ilhali silika iliyounganishwa hutengenezwa kwa syntetisk. Kiutendaji, hutoa utendaji sawa, lakini silika iliyounganishwa inaweza kuwa na usafi wa juu kidogo na homogeneity.
Q2: Je, kaki zilizounganishwa za quartz zinaweza kutumika katika mazingira ya utupu wa juu?
Ndiyo. Kwa sababu ya mali ya chini ya kutoa gesi na upinzani wa juu wa mafuta, kaki za quartz zilizounganishwa ni bora kwa mifumo ya utupu na matumizi ya anga.
Swali la 3: Je, kaki hizi zinafaa kwa matumizi ya laser ya kina-UV?
Kabisa. Quartz iliyounganishwa ina upitishaji wa hali ya juu hadi ~185 nm, na kuifanya kuwa bora kwa macho ya DUV, vinyago vya lithography na mifumo ya leza ya excimer.
Q4: Je, unaunga mkono uundaji wa kaki maalum?
Ndiyo. Tunatoa ubinafsishaji kamili ikiwa ni pamoja na kipenyo, unene, ubora wa uso, gorofa/noti, na muundo wa leza, kulingana na mahitaji yako mahususi ya programu.
Kuhusu Sisi
XKH inataalam katika ukuzaji wa hali ya juu, uzalishaji, na uuzaji wa glasi maalum ya macho na nyenzo mpya za fuwele. Bidhaa zetu hutumikia vifaa vya elektroniki vya macho, vifaa vya elektroniki vya watumiaji, na jeshi. Tunatoa vipengele vya macho vya Sapphire, vifuniko vya lenzi za simu ya mkononi, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na kaki za kioo za semiconductor. Kwa utaalamu wenye ujuzi na vifaa vya kisasa, tunafanya vyema katika usindikaji wa bidhaa zisizo za kawaida, kwa lengo la kuwa biashara inayoongoza ya teknolojia ya optoelectronic.
