8inch SiC daraja la uzalishaji kaki 4H-N SiC substrate

8inch SiC kaki ya daraja la uzalishaji 4H-N SiC substrate Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Fupi:

Sehemu ndogo za SiC za inchi 8 hutumiwa katika vifaa vya elektroniki vya nguvu ya juu, kama vile MOSFET za nguvu (Transistors za Athari ya Sehemu ya Oksidi ya Metal), diodi za Schottky na vifaa vingine vya semicondukta ya nguvu.

Tutumie barua pepe

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Jedwali lifuatalo linaonyesha maelezo ya kaki zetu za SiC 8inch:

Vipimo vya 8inch N-aina ya SiC DSP
Nambari	Kipengee	Kitengo	Uzalishaji	Utafiti	Dummy
1: vigezo
1.1	aina nyingi	--	4H	4H	4H
1.2	mwelekeo wa uso	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2:Kigezo cha umeme
2.1	dopant	--	n-aina ya Nitrojeni	n-aina ya Nitrojeni	n-aina ya Nitrojeni
2.2	resistivity	ohm ·cm	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3:kigezo cha mitambo
3.1	kipenyo	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	unene	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Mwelekeo wa notch	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Kina cha Notch	mm	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Upinde	μm	-25~25	-45 ~ 45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Muundo
4.1	wiani wa micropipe	cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	maudhui ya chuma	atomi/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Ubora wa mbele
5.1	mbele	--	Si	Si	Si
5.2	kumaliza uso	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	chembe	mkate/kaki	≤100(ukubwa≥0.3μm)	NA	NA
5.4	mkwaruzo	mkate/kaki	≤5, Urefu wa Jumla≤200mm	NA	NA
5.5	Ukingo chips/indents/nyufa/madoa/uchafuzi	--	Hakuna	Hakuna	NA
5.6	Maeneo ya polytype	--	Hakuna	Eneo ≤10%	Eneo ≤30%
5.7	alama ya mbele	--	Hakuna	Hakuna	Hakuna
6:Ubora wa nyuma
6.1	kumaliza nyuma	--	Mbunge wa C-uso	Mbunge wa C-uso	Mbunge wa C-uso
6.2	mkwaruzo	mm	NA	NA	NA
6.3	Ukingo wa kasoro za nyuma chips/indents	--	Hakuna	Hakuna	NA
6.4	Ukali wa nyuma	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Kuashiria nyuma	--	Notch	Notch	Notch
7: makali
7.1	makali	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8:Kifurushi
8.1	ufungaji	--	Epi-tayari na utupu ufungaji	Epi-tayari na utupu ufungaji	Epi-tayari na utupu ufungaji
8.2	ufungaji	--	Kaki nyingi ufungaji wa kaseti	Kaki nyingi ufungaji wa kaseti	Kaki nyingi ufungaji wa kaseti