Kaki ya inchi 6 ya SiC Epitaxiy N/P ukubali iliyogeuzwa kukufaa
Mchakato wa utayarishaji wa kaki ya silicon carbide epitaxial ni njia inayotumia teknolojia ya Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali (CVD).Zifuatazo ni kanuni muhimu za kiufundi na hatua za mchakato wa maandalizi:
Kanuni ya kiufundi:
Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali: Kwa kutumia gesi ya malighafi katika awamu ya gesi, chini ya hali maalum ya athari, hutenganishwa na kuwekwa kwenye substrate ili kuunda filamu nyembamba inayotaka.
Mmenyuko wa awamu ya gesi: Kupitia pyrolysis au mmenyuko wa kupasuka, gesi mbalimbali za malighafi katika awamu ya gesi hubadilishwa kemikali katika chumba cha majibu.
Hatua za mchakato wa maandalizi:
Matibabu ya substrate: Sehemu ndogo husafishwa kwa uso na kutayarishwa mapema ili kuhakikisha ubora na ung'avu wa kaki ya epitaxial.
Utatuzi wa chemba ya mwitikio: rekebisha halijoto, shinikizo na kasi ya mtiririko wa chemba ya majibu na vigezo vingine ili kuhakikisha uthabiti na udhibiti wa hali ya athari.
Ugavi wa malighafi: toa malighafi ya gesi inayohitajika kwenye chemba ya mmenyuko, kuchanganya na kudhibiti kiwango cha mtiririko inavyohitajika.
Mchakato wa kuitikia: Kwa kupasha joto chemba ya mmenyuko, malisho ya gesi hupitia mmenyuko wa kemikali kwenye chemba ili kutoa amana inayohitajika, yaani filamu ya silicon carbide.
Kupoeza na upakuaji: Mwishoni mwa majibu, halijoto hushushwa hatua kwa hatua ili kupoa na kuimarisha amana kwenye chemba ya majibu.
Ufungaji wa kaki ya Epitaxial na baada ya kuchakatwa: kaki ya epitaxial iliyowekwa hunaswa na kuchakatwa ili kuboresha sifa zake za umeme na macho.
Hatua na masharti maalum ya mchakato wa utayarishaji wa kaki ya silicon carbide epitaxial inaweza kutofautiana kulingana na vifaa na mahitaji maalum.Ya hapo juu ni mtiririko wa mchakato wa jumla na kanuni, operesheni maalum inahitaji kurekebishwa na kuboreshwa kulingana na hali halisi.
Mchoro wa kina
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)